上海空间电源研究所王鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉上海空间电源研究所申请的专利一种斜面卷绕式薄膜太阳电池外延层剥离装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116014028B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211689717.2,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种斜面卷绕式薄膜太阳电池外延层剥离装置是由王鑫;王波;李彬;施祥蕾;周丽华;孙利杰;王训春设计研发完成,并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种斜面卷绕式薄膜太阳电池外延层剥离装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种斜面卷绕式薄膜太阳电池外延层剥离装置,属于太阳电池工艺技术领域;包括剥离组件、驱动组件、循环系统、温控系统和晶圆片;其中,循环系统内置腐蚀液体;温控系统设置在循环系统内,实现对腐蚀液体进行加热处理;驱动组件驱动剥离组件的角度调整;晶圆片设置在剥离组件上;循环系统实现将内部腐蚀液体循环输出至晶圆片处;在腐蚀液体对晶圆片的腐蚀下,剥离组件实现对晶圆片的剥离;本发明解决了外延薄膜剥离过程中,剥离速率低、质量不稳定且效率低的问题,具有实时变化拉力辅助、温度控制和溶液循环的功能。
本发明授权一种斜面卷绕式薄膜太阳电池外延层剥离装置在权利要求书中公布了:1.一种斜面卷绕式薄膜太阳电池外延层剥离装置,其特征在于:包括剥离组件1、驱动组件2、循环系统3、温控系统4和晶圆片; 其中,循环系统3内置腐蚀液体;温控系统4设置在循环系统3内,实现对腐蚀液体进行加热处理;剥离组件1设置在循环系统3的上方;驱动组件2驱动剥离组件1的角度调整;晶圆片设置在剥离组件1上;循环系统3实现将内部腐蚀液体循环输出至晶圆片处;在腐蚀液体对晶圆片的腐蚀下,剥离组件1实现对晶圆片的剥离; 所述晶圆片包括薄膜的生长衬底8和薄膜电池外延层7;薄膜的生长衬底8和薄膜电池外延层7均为圆形薄膜结构;薄膜的生长衬底8位于下方;薄膜电池外延层7设置在薄膜的生长衬底8的上方;且薄膜的生长衬底8和薄膜电池外延层7之间通过AlAs牺牲层粘接; 所述剥离组件1包括卷筒5、斜面6和箱体;其中,斜面6倾斜放置在箱体中;晶圆片设置在斜面6上;其中,薄膜的生长衬底8安装在斜面6上;卷筒5设置在薄膜电池外延层7的上方; 所述驱动组件2包括驱动电机21、第一传动杆22、2个传动带23、第二传动杆24和2个滚轮25;驱动电机21设置在剥离组件1的外侧;驱动电机21的输出端与第一传动杆22带传动;第二传动杆24设置在剥离组件1的上方;第二传动杆24轴向与第一传动杆22轴向平行;2个传动带23分别设置在第一传动杆22的两端;传动带23的一端与第一传动杆22固连;传动带23的另一端绕过对应滚轮25后与斜面6连接。
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