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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利光刻机数据采集与诊断系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116069699B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111280543.X，技术领域涉及：G06F13/40；该发明授权光刻机数据采集与诊断系统及方法是由陈丹;谢仁飚;朱晶;钱峰设计研发完成，并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机数据采集与诊断系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光刻机数据采集与诊断系统及方法，所述光刻机数据采集与诊断系统包括上位机、交换机、诊断控制器以及挂接在命令总线上的多核运动控制板及数据接口板；上位机、交换机和诊断控制器通过命令总线依次连接，数据接口板通过光纤连接若干个高速信号采集板；高速信号采集板用于数据存储、数据分析及异常数据恢复，多核运动控制板用于数据存储、性能分析及异常数据报错。本发明减轻了诊断控制器及上位机的数据存储和处理压力，减少了数据传输过程中所占用的带宽，提高了光刻机系统采样数据处理能力和实时性；多核运动控制板在原始数据或性能分析数据中存在错误或异常数据时产生不同的数据诊断请求，提高了对光刻机性能及可靠性问题的排查效率，优化了光刻机的设计反馈。

本发明授权光刻机数据采集与诊断系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻机数据采集与诊断系统，其特征在于，包括上位机、交换机、诊断控制器以及挂接在命令总线上的多核运动控制板及数据接口板；其中，所述上位机、所述交换机和所述诊断控制器通过命令总线依次连接，所述数据接口板与若干个高速信号采集板通过光纤连接； 所述高速信号采集板包括第一数据采集模块、原始数据存储模块、数据预处理模块和异常数据恢复模块，用于存储传感器采集的原始数据及异常恢复后的数据，并进行数据分析及异常数据恢复； 所述多核运动控制板包括第二数据采集模块、原始数据共享存储空间、性能分析模块、异常数据报错模块和存储器，用于存储所述高速信号采集板上传的原始数据和性能分析数据，并进行性能分析以及异常数据报错； 当所述多核运动控制板内存储的原始数据或性能分析数据中存在错误或异常数据时，所述多核运动控制板会产生不同的数据诊断请求，包括硬实时数据诊断请求和软实时数据诊断请求； 硬实时诊断数据包括光刻机的底层硬件数据及整机同步数据； 软实时诊断数据包括扫描过程的过程数据、性能分析数据及异常诊断数据。

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