武汉理工大学;国网河南省电力公司电力科学研究院董丽杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉武汉理工大学;国网河南省电力公司电力科学研究院申请的专利一种真空离子溅射镀膜机及超薄薄膜连续金属化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116200710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211658113.1，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种真空离子溅射镀膜机及超薄薄膜连续金属化方法是由董丽杰;朱晓东;张扬;王朝华;冯锐;李晓钰设计研发完成，并于2022-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空离子溅射镀膜机及超薄薄膜连续金属化方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种真空离子溅射镀膜机及超薄薄膜连续金属化方法。该真空离子溅射镀膜机包括真空罩、靶材、柱盖、升降柱、旋转基台、电动横杆、制冷装置、样品夹具、侧柱、底座、空心柱等，通过升降柱在水平面内的转动以及旋转基台和其上的样品夹具同步转动，实现了均匀镀膜；通过升降柱在竖直方向上的上下运动及电动横杆的转动，实现了样品夹具的翻转；通过制冷装置的散热和降温作用，保证超薄薄膜始终在低温下进行金属化，避免出现凹陷、热击穿和镀膜不均等现象。整套装置具有结构简单、使用及维护方便、金属膜层质量好、自动化程度高等一系列优点，在真空离子溅射镀膜领域有较好的应用前景。
本发明授权一种真空离子溅射镀膜机及超薄薄膜连续金属化方法在权利要求书中公布了：1.一种真空离子溅射镀膜机，其特征在于：该真空离子溅射镀膜机包括密封壳体和位于密封壳体内部的升降柱4、旋转基台5、翻转装置、制冷装置7、样品夹具8；所述旋转基台5与升降柱4固定连接，并随升降柱4在水平面内转动以及在竖直方向上上下运动；所述制冷装置7位于旋转基台5底面，用于为旋转基台5及其上的样品夹具8降温；制冷装置具体为基于珀尔帖效应热电制冷器件，该热电制冷器件使用的N型柱状半导体材料为Bi2Te3-Bi2Se3，P型柱状半导体材料为Bi2Te3-Sb2Te3；在样品夹具8上固定有超薄薄膜，所述超薄薄膜具体为厚度在5μm以下的聚合物薄膜；所述翻转装置位于旋转基台5两侧，用于翻转样品夹具8，翻转装置包括侧柱9、电动横杆6，所述侧柱9固定在旋转基台5侧边，所述电动横杆6与侧柱9固定连接并能受控转动，电动横杆6与样品夹具8可分离式活动连接并带动其翻转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉理工大学;国网河南省电力公司电力科学研究院，其通讯地址为：430070 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励