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南京工业大学李方松获国家专利权

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龙图腾网获悉南京工业大学申请的专利一种表面介质阻挡放电沉积连续梯度薄膜的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116377428B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310333890.7,技术领域涉及:C23C16/54;该发明授权一种表面介质阻挡放电沉积连续梯度薄膜的方法是由李方松;祝曦;储金成;方志设计研发完成,并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种表面介质阻挡放电沉积连续梯度薄膜的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种表面介质阻挡放电沉积连续梯度薄膜的方法,包括以下步骤:步骤1:在等离子体反应器的放电区域内放置环氧树脂样品板;步骤2:以氩气为气源,通过鼓泡法将媒质聚二甲基硅氧烷带入混气腔中,并向混气腔内通入另一路单独的氩气,氩气和媒质在混气腔内混合均匀后形成工作气体;步骤3:将工作气体均匀的从环氧树脂样品板的一侧平行于环氧树脂样品板的上表面连续吹出至等离子体反应器的放电区域。通过本发明的方法可以在环氧树脂样品板上沉积一层连续梯度薄膜,薄膜致密,水平方向的沉积效果相对均匀,垂直方向的薄膜的厚度逐渐降低,进行表面改性后的环氧树脂样品板绝缘表面电气性能大大提升。

本发明授权一种表面介质阻挡放电沉积连续梯度薄膜的方法在权利要求书中公布了:1.一种表面介质阻挡放电沉积连续梯度薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1:在等离子体反应器的放电区域内放置环氧树脂样品板; 步骤2:以氩气为气源,通过鼓泡法将粘度为50cst的媒质聚二甲基硅氧烷带入混气腔中,并向混气腔内通入另一路单独的氩气,氩气和媒质在混气腔内混合均匀后形成工作气体; 步骤3:将工作气体均匀的从环氧树脂样品板的一侧平行于环氧树脂样品板的上表面连续吹出至等离子体反应器的放电区域,工作气体从多孔进气模块均匀的吹出,多孔进气模块的出气口位置略高于环氧树脂样品板的上表面,工作气体的气流方向与等离子体反应器的电场方向一致; 步骤4:纳秒脉冲激励源工作,在等离子体反应器的放电区域产生电场,工作气体在电场作用下产生等离子体体羽,等离子体体羽在环氧树脂样品板上表面沉积一层连续梯度薄膜; 所述方法基于表面介质阻挡放电改性平台,表面介质阻挡放电改性平台包括氩气瓶、混气腔和等离子体反应器,氩气瓶连接双通接头,双通接头连接两个流量计,其中一个流量计直接连接混气腔,另一个流量计连接防倒吸瓶,防倒吸瓶连接媒质瓶,媒质瓶连接混气腔,两个流量计的气体流速通过流速控制器控制,混气腔连接等离子体反应器的多孔进气模块,多孔进气模块的出气口正对等离子体反应器的放电区域,工作气体从多孔进气模块均匀的吹出,多孔进气模块的出气口位置略高于环氧树脂样品板的上表面,等离子体反应器连接纳秒脉冲激励源。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京工业大学,其通讯地址为:211816 江苏省南京市浦口区浦珠南路30号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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