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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种单晶硅复杂曲面弱刚性反射镜片制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116435000B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310186088.X，技术领域涉及：G21K1/06；该发明授权一种单晶硅复杂曲面弱刚性反射镜片制作方法是由高尚;康仁科;李建贺;董志刚;朱祥龙;李洪钢设计研发完成，并于2023-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单晶硅复杂曲面弱刚性反射镜片制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种单晶硅复杂曲面弱刚性反射镜片的制作方法，包括以下步骤：S1：采用金刚石线锯旋转切割单晶硅锭，获得反射镜外圆柱面；S2：对单晶硅锭圆柱面超精密磨削加工；S3：采用金刚石线锯旋转切割，获得弱刚性反射镜片；S4：对弱刚性反射镜片进行湿法腐蚀；S5：采用专用夹具对反射镜片进行低应力装夹；S6：采用金刚石砂轮超精密磨削方法对反射镜片进行超精密成形加工；S7：采用气囊抛光或固结软磨料砂轮磨削的方法对反射镜片进行超精密抛光；S8：采用磁流变抛光或离子束加工的方法对反射镜片进行超精密修形，表面Ra小于0.5nm，面形精度PV小于1μm。本发明解决了现有制造方法存在的反射镜质量大，制造工艺复杂，加工精度难以保证等问题。

本发明授权一种单晶硅复杂曲面弱刚性反射镜片制作方法在权利要求书中公布了：1.一种单晶硅复杂曲面弱刚性反射镜片的制作方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：采用金刚石线锯旋转切割的方法加工单晶硅锭，获得反射镜外圆柱面轮廓； S2：根据反射镜的圆柱面面型，在五轴数控机床上，采用圆弧金刚石砂轮超精密磨削方法在反射镜外表面进行超精密成形加工； S3：采用金刚石线锯旋转切割的方法加工经S2步骤处理过的单晶硅锭，获得反射镜内圆柱面轮廓，完成薄壁弱刚性反射镜片的切片； S4：采用腐蚀液对薄壁弱刚性反射镜片进行湿法腐蚀，消除线锯切割和砂轮磨削过程造成的损坏； S5：以薄壁弱刚性反射镜片外表面为基准，采用专用夹具完成对反射镜片的低应力装夹；具体地，根据薄壁弱刚性反射镜片外表面轮廓进行专用夹具装夹面的设计；将专用夹具放置在恒温加热台上进行加热，加热至70℃，在整个装夹面上均匀得涂抹一层石蜡；以薄壁弱刚性反射镜片外表面为基准，将反射镜片放置在专用夹具上；关闭恒温加热台，停止加热，待温度冷却至常温，石蜡凝固后即可完成对以薄壁弱刚性反射镜片弱刚性装夹； S6：根据反射镜片的自由曲面面型，在五轴数控机床上，采用圆弧金刚石砂轮超精密磨削方法在反射镜片内表面进行超精密成形加工； S7：根据反射镜的自由曲面面型，在五轴数控机床上，采用气囊抛光或固结软磨料砂轮磨削方法对反射镜内表面进行超精密抛光加工； S8：根据反射镜的自由曲面面型，采用磁流变抛光方法或者离子束抛光方法对经过抛光处理的反射镜进行高精度修形加工。

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