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龙图腾网获悉三一硅能(株洲)有限公司申请的专利腔体冷却系统及气相沉积真空设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116445893B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310593157.9，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权腔体冷却系统及气相沉积真空设备是由石鹏飞设计研发完成，并于2023-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本腔体冷却系统及气相沉积真空设备在说明书摘要公布了：本发明涉及光伏组件制造技术领域，提供一种腔体冷却系统及气相沉积真空设备，包括腔体、抽吸泵、充气装置、送气通道和控制阀组件，抽吸泵与腔体连接，用于将腔体内的气体抽出；充气装置的出气口与腔体连接，用于向腔体充入惰性气体；送气通道的一端与抽吸泵的出气口连接，送气通道的另一端与充气装置的进气口连接，冷却通道内有冷却介质，冷却通道与送气通道连接或相接触，用于通过换热对送气通道内的惰性气体冷却，控制阀组件包括分别用于控制抽吸泵与腔体连通的第一控制阀，用于控制充气装置与腔体连通的第二控制阀，以及，用于控制送气通道与抽吸泵出气口连通的第三控制阀。本发明实现对惰性气体的循环利用，提高了对腔体的冷却效率。

本发明授权腔体冷却系统及气相沉积真空设备在权利要求书中公布了：1.一种腔体冷却系统，其特征在于，包括： 腔体1； 抽吸泵2，包括吸气口和出气口，所述抽吸泵2的吸气口与所述腔体1相连接，用于将所述腔体1内的气体抽出； 充气装置，所述充气装置的出气口与所述腔体1相连接，用于向所述腔体1充入惰性气体； 送气通道31，所述送气通道31的一端与所述抽吸泵2的出气口连接，所述送气通道31的另一端与所述充气装置的进气口连接，所述送气通道31用于将通过所述抽吸泵2抽出的惰性气体送回所述充气装置； 冷却通道32，所述冷却通道32内有冷却介质，所述冷却通道32与所述送气通道31连接或相接触，用于通过换热对所述送气通道31内的惰性气体冷却； 控制阀组件，包括分别用于控制所述抽吸泵2与所述腔体1通断的第一控制阀101，用于控制所述充气装置与所述腔体1通断的第二控制阀102，以及，用于控制所述送气通道31与所述抽吸泵2出气口通断的第三控制阀103； 冷却装置，所述冷却装置包括冷却水泵4，所述冷却通道32的一端与所述冷却水泵4连接，另一端与所述腔体1的进水口连接；所述腔体1内的底部及四周的内壁嵌设有通气管道，所述通气管道的两端分别与所述抽吸泵2的吸气口及所述充气装置连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三一硅能(株洲)有限公司，其通讯地址为：412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号楼518-50室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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