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龙图腾网获悉华为技术有限公司;德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会申请的专利微机电系统(MEMS)设备及噪声消除方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116457302B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080107138.5，技术领域涉及：B81B7/00；该发明授权微机电系统(MEMS)设备及噪声消除方法是由乌尔里希·霍夫曼;托马斯·冯·万托克;克里斯蒂安·贾尼克;莱昂·波尔;斯蒂芬·马劳斯卡;托马斯·克尼林;弗兰克·森格;约尔格·阿尔贝斯设计研发完成，并于2020-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本微机电系统(MEMS)设备及噪声消除方法在说明书摘要公布了：提供了一种微机电系统micro‑electromechanicalsystem，MEMS设备102、200、300、404，用于消除由可移动微机电系统micro‑electromechanicalsystem，MEMS元件104、204、304、406的振荡产生的噪声。所述微机电系统micro‑electromechanicalsystem，MEMS设备102、200、300、404包括可移动微机电系统micro‑electromechanicalsystem，MEMS元件104、204、304、406、致动器106、208、306、408、控制器108、410和可移动噪声消除元件110、202、312、412。所述控制器108、410提供电信号以驱动所述致动器106、208、306、408和所述可移动噪声消除元件110、202、312、412，以消除通过所述可移动MEMS元件104、204、304、406的振荡在所述微机电系统micro‑electromechanicalsystem，MEMS设备102、200、300、404中产生的噪声。所述可移动噪声消除元件110、202、312、412根据从所述控制器108、410接收的电信号产生反相位噪声，以根据从所述控制器108、410接收的控制信号消除由所述可移动MEMS元件104、204、304、406振荡产生的噪声。

本发明授权微机电系统(MEMS)设备及噪声消除方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统micro-electromechanicalsystem，MEMS设备102、200、300、404，其特征在于，包括： 可移动MEMS元件104、204、304、406； 致动器106、208、306、408，所述致动器可操作以移动所述可移动MEMS元件104、204、304、406； 控制器108、410，所述控制器用于控制所述致动器106、208、306、408以引起所述可移动MEMS元件104、204、304、406的受控运动； 所述设备102、200、300、404还包括： 可移动噪声消除元件110、202、312、412，所述元件布置成在所述控制器108、410的控制下被驱动，以产生反相位噪声，从而消除由所述可移动MEMS元件104、204、304、406的振荡产生的噪声； 所述可移动噪声消除元件110、202、312、412是压电元件。

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