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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116482408B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310428942.9，技术领域涉及：G01Q10/06；该发明授权一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法是由李海;黄海健;张宪民;朱本亮;廖瑜;赖建豪;许诺设计研发完成，并于2023-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法，包括以下步骤：建立区域灰度变化与扫描机构末端位姿的直接关联模型，并给出了基于PI逆模型的磁滞补偿策略，可在低视觉延时的基础上实现对复杂扫描轨迹的精准伺服控制；实现该方法的装置包括有原子力显微镜、柔顺纳米定位平台、普通定位平台、倒置显微镜、相机、滑台、倒置显微镜夹具、平台支柱、计算机及视觉伺服控制系统。以本发明作为原子力显微镜扫描控制方法和装置进行扫描，具有扫描频率上限高，扫描精度高和能以较高的效率提升现有原子力显微镜的扫描性能。

本发明授权一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法在权利要求书中公布了：1.一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、对原子力显微镜的扫描轨迹进行规划，将期望轨迹表示为与时间相关的参数化轨迹曲线，并对所述参数化轨迹曲线进行离散化处理，以获得具有相同时间间隔的离散位姿； 步骤2、确定图像空间局部区域与期望轨迹的对应关系，得到预期模板； 步骤3、设计视觉跟踪控制器，确保预期模板遵循离散轨迹姿势，实现视觉引导原子力显微镜扫描轨迹跟踪； 步骤4、对纳米定位平台在X方向和Y方向的运动进行解耦处理，即分别建立X向与Y向的独立运动控制模型，利用P-I逆模型对纳米定位平台进行前馈控制，再结合微视觉系统根据纳米定位平台末端位姿误差对P-I逆模型参数进行更新，实现减小纳米定位平台迟滞效应的闭环控制； 步骤5、先对期望模板位置进行预更新，然后将预期模板位置和视觉反馈实际模块采集的纳米定位平台末端位姿的灰度图像位置之间的误差作为输入，经过视觉伺服控制器处理得到下一时刻的期望位姿，将其逆解成所需关节参数，再根据计算得出的关节参数控制末端执行器到达相应位置，从而实现全闭环控制。

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