齐鲁中科光物理与工程技术研究院贾纪获国家专利权
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龙图腾网获悉齐鲁中科光物理与工程技术研究院申请的专利一种可翻转的磁控溅射镀膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116855905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310688543.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种可翻转的磁控溅射镀膜机是由贾纪;袁磊;寇洋设计研发完成，并于2023-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可翻转的磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了：本发明涉及磁控溅射设备技术领域，尤其公开了一种可翻转的磁控溅射镀膜机，包括底座，所述底座中部设有真空腔体，底座的顶部耳座，所述耳座位于真空腔体的两侧，所述耳座内设有转轴，所述真空腔体通过转轴可相对底座在竖直平面内旋转，所述真空腔体的两端设有连接口，所述连接口处转动连接有用于封堵连接口的密封板，真空腔体的一端设有真空泵装置，真空泵装置通过定制法兰与连接口连通，真空腔体底部安装有溅射靶枪，与传统技术相比，本技术方案实现了多方向溅射，节省了人力物力，提高了工件镀膜效率。
本发明授权一种可翻转的磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种可翻转的磁控溅射镀膜机，其特征在于：包括底座1，所述底座1中部设有真空腔体2，底座1的顶部耳座3，所述耳座3位于真空腔体2的两侧，所述耳座3内设有转轴4，所述真空腔体2通过转轴4可相对底座1在竖直平面内旋转，所述真空腔体2的两端设有连接口5，所述连接口5处转动连接有用于封堵连接口5的密封板6，真空腔体2的一端设有真空泵装置，真空泵装置通过定制法兰8与连接口5连通，真空腔体2底部安装有溅射靶枪9； 所述真空泵装置包括真空泵体7和真空泵阀门10，所述真空泵阀门10一端与定制法兰8连通，另一端与真空泵体7连通； 所述底座1的一端转动连接有支撑架11，所述支撑架11顶部与真空泵体7固定连接。
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