贵州大学吴頔获国家专利权
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龙图腾网获悉贵州大学申请的专利一种用于平面工件电化学研磨/电化学机械抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117047564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310443333.0,技术领域涉及:B24B1/00;该发明授权一种用于平面工件电化学研磨/电化学机械抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法及装置是由吴頔设计研发完成,并于2023-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于平面工件电化学研磨/电化学机械抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法及装置在说明书摘要公布了:本发明公开一种平面工件研磨或抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法和装置,通过在工件边缘加等势保护环,并对等势保护环与工件施加相同电势,使工件侧面与等势保护环间无侧向电流;所述装置包括:自上而下依次同心设第一尼龙盘、第二尼龙盘、工件夹具;第二尼龙盘中空设阶梯孔,其内设弹簧铜刷,上端与第一尼龙盘的中心孔中设的导电滑环通过导线连接、下端设铜刷头部穿过工件夹具的中通孔与下方工件弹性接触,工件嵌套在放置在同一平面上的等势保护环内,第二尼龙盘底部设有凹槽,其内设有弹簧石墨刷,与等势保护环保持弹性接触。本发明通过简单结构抑制工件边缘侧向电流以抑制工件边缘的杂散电流腐蚀,提高了电化学研磨机械抛光加工精度。
本发明授权一种用于平面工件电化学研磨/电化学机械抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种用于电化学机械加工时抑制边缘杂散电流腐蚀的方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、选择等势保护环11材料,所述等势保护环11材料金属性高于或等于工件10材料金属性; S2、将所述工件10与所述等势保护环11置于同一水平平面,并使所述工件10嵌套于所述等势保护环11中,所述工件10底面形心与所述等势保护环11底面形心相距0~1mm; S3、通过电源给所述工件10与等势保护环11施加相同电势,并进行电化学研磨电化学机械抛光加工。
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