江苏徐工工程机械研究院有限公司冯森获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏徐工工程机械研究院有限公司申请的专利镀膜装置及镀膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117089806B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311065307.5,技术领域涉及:C23C14/02;该发明授权镀膜装置及镀膜方法是由冯森;陈新春;陆智俊设计研发完成,并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜装置及镀膜方法在说明书摘要公布了:本公开涉及一种镀膜装置及镀膜方法,其中,镀膜装置包括:真空室1,其腔体内为真空环境;偏压负载体2,设在所述真空室1内,所述偏压负载体2与所述真空室1相互绝缘;位置保持部件3,被配置为将工件的位置保持在所述真空室1和所述偏压负载体2之间;离子产生部件4,设在所述真空室1的侧壁上,被配置为产生并向所述真空室1内输入带电离子;和偏压电源5,所述偏压电源5的正极和负极分别连接于所述真空室1和所述偏压负载体2。
本发明授权镀膜装置及镀膜方法在权利要求书中公布了:1.一种镀膜装置,其特征在于,包括: 真空室1,其腔体内为真空环境; 偏压负载体2,设在所述真空室1内,所述偏压负载体2与所述真空室1相互绝缘; 位置保持部件3,被配置为将工件的位置保持在所述真空室1和所述偏压负载体2之间; 离子产生部件4,设在所述真空室1的侧壁上,被配置为产生并向所述真空室1内输入带电离子; 偏压电源5,所述偏压电源5的正极和负极分别连接于所述真空室1和所述偏压负载体2;和 偏压引入组件7,所述偏压引入组件7包括: 导电件71,设在所述真空室1的顶部,电连接于所述偏压电源5的负极和所述偏压负载体2之间; 安装座72,连接于所述真空室1的顶部和所述导电件71之间,所述安装座72包括凸出部721和凸缘部722,所述凸出部721呈筒状且连接于所述真空室1的顶部和所述凸缘部722之间; 绝缘法兰73,设在所述导电件71和所述安装座72之间; 绝缘连接件74,由上至下依次贯穿并连接所述导电件71、所述绝缘法兰73和所述安装座72;和 冷却部75,设在所述凸出部721的侧壁上,被配置为对所述安装座72和所述导电件71进行冷却。
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