长川科技(苏州)有限公司尚浩天获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆边缘缺陷检测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117115130B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311170240.1，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆边缘缺陷检测方法及装置是由尚浩天;吴强;崔可涛;张彩红;陈思乡设计研发完成，并于2023-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆边缘缺陷检测方法及装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆边缘缺陷检测方法、晶圆边缘缺陷检测装置及电子设备，属于晶圆边缘缺陷检测技术领域，其中，该方法包括从晶圆模板图像中提取边缘掩膜图像；基于边缘掩膜图像从待测晶圆图像中提取边缘区域；沿着边缘直线的长度方向在边缘区域中截取多个子区域；对子区域内的像素点进行统计分析提取缺陷点，该方法通过边缘掩膜图像提取边缘区域，能够找到局部异常区域，降低对模板的依赖，再通过截取多个子区域进行缺陷点提取，从大范围的缺陷点检测区域中截取多个小范围的缺陷点检测区域进行处理，实现了检测区域的优化和拆分，通过截取子区域降低了检测难度，提高了检测精度，有助于避免过检点的产生。
本发明授权一种晶圆边缘缺陷检测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘缺陷检测方法，其特征在于，包括： 从晶圆模板图像中提取边缘掩膜图像； 基于所述边缘掩膜图像从待测晶圆图像中提取边缘区域； 沿着边缘直线的长度方向在所述边缘区域中截取多个子区域； 对所述子区域内的像素点进行统计分析提取缺陷点； 从晶圆模板图像中提取边缘掩膜图像，包括： 从所述晶圆模板图像中选取感兴趣区域，所述感兴趣区域包含所述边缘直线； 通过Canny算法从所述感兴趣区域中提取位于所述边缘直线上的初始边缘轮廓点； 对所述初始边缘轮廓点进行筛选得到目标边缘轮廓点； 对所述目标边缘轮廓点进行二值化处理得到掩膜图像； 对所述目标边缘轮廓点进行二值化处理得到掩膜图像，包括： 对所述目标边缘轮廓点进行二值化处理得到初始掩膜图像； 对所述初始掩膜图像进行形态学膨胀得到扩展掩膜图像； 对所述扩展掩膜图像进行形态学腐蚀以切除所述边缘直线的两端得到所述掩膜图像。
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