买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉海太半导体(无锡)有限公司申请的专利一种基板真空吸板装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117253837B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211630827.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种基板真空吸板装置是由边毅;陈玉龙设计研发完成，并于2022-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基板真空吸板装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板真空吸板装置，包括：基板放置台上穿设有气孔，气孔避开设置在基板放置台表面的螺栓孔填充满整个基板放置台表面；排气装置通过螺栓固定在基板放置台下方；升降装置设置在排气装置下方，所述升降装置顶部的顶杆与排气装置中真空板远离基板放置台的一端相连；平衡装置设置在升降装置的四周，顶部与真空板相连；顶料装置设置在基板放置台的一侧，底部与真空板相连；底座设置在升降装置底部，底座上预设有定位孔通过穿设定位销与滑台无杆气缸相连。本发明采用排气装置吸附刚加工完毕易变性的SUB板，并通过气嘴和辅助气嘴对真空板内部气道的气体进行快速交换，对SUB板底部快速降温使其硬化定型，便于后续SUB板的运输与加工。

本发明授权一种基板真空吸板装置在权利要求书中公布了：1.一种基板真空吸板装置，其特征在于，包括： 基板放置台1，所述基板放置台1上穿设有气孔101，所述气孔101避开设置在基板放置台1表面的螺栓孔填充满整个基板放置台1表面； 排气装置2，所述排气装置2通过螺栓7固定在基板放置台1下方； 升降装置3，所述升降装置3设置在排气装置2下方，所述升降装置3顶部的顶杆303与排气装置2中真空板201远离基板放置台1的一端相连； 平衡装置4，所述平衡装置4设置在升降装置3的四周，顶部与真空板201相连； 推料装置5，所述推料装置5设置在基板放置台1的一侧，底部与真空板201相连； 底座6，所述底座6设置在升降装置3底部，底座6上预设有定位孔通过穿设定位销与滑台无杆气缸相连； 所述排气装置2包括： 真空板201，所述真空板201位于基板放置台1的底部，通过螺栓7与基板放置台1相连，所述真空板201靠近基板放置台1的端面上设置有相连的凹槽组成气道204； 吸嘴202，所述吸嘴202穿设在真空板201的底部，所述吸嘴202的顶端与气道204相连； 进风管203，所述进风管203穿设在真空板201的一侧，所述进风管203的顶端与气道204相连； 所述升降装置3包括： 升降双杆气缸301，所述升降双杆气缸301放置在底座6上，顶部设置有滑块302，滑块302上方设置有顶杆303，所述顶杆303顶端连接真空板201； 所述平衡装置4包括： 定位板401，所述定位板401位于真空板201与升降双杆气缸301之间，放置在滑块302上，所述定位板401下方设置有限位板402； 限位板402，所述限位板402中间设有限位槽408，所述限位板402通过限位槽408套设在升降双杆气缸301的气缸壁上，并通过下方的固定板403与底座6相连；平衡顶柱404，所述平衡顶柱404穿设在定位板401四周，所述平衡顶柱404上设有螺纹与定位板401螺纹锁定，所述平衡顶柱404一端抵住在真空板201，另一端穿过限位板402并向下延伸； 激光传感器405，所述激光传感器405通过L型支架407设置在定位板401的一侧，在激光传感器405的感应头上方对应上方基板放置台1的位置上设置有通孔406； 所述推料装置5包括： L型板501，所述L型板501中竖板顶端与真空板201相连，横版上从下至上分别设置有U型块502和Z型延长推板503。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人海太半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区新区出口加工区K5、K6地块；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。