隆基绿能科技股份有限公司邱江南获国家专利权
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龙图腾网获悉隆基绿能科技股份有限公司申请的专利物理气相沉积的水汽控制方法、装置、设备和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117265496B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311301573.3，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权物理气相沉积的水汽控制方法、装置、设备和介质是由邱江南;袁陨来;陈哲;王建波;徐希翔设计研发完成，并于2023-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本物理气相沉积的水汽控制方法、装置、设备和介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种物理气相沉积的水汽控制方法、装置、设备和介质，一般涉及计算机技术领域。该方法包括：当用于执行物理气相沉积的载板进入腔体后，确定腔体内的水汽浓度实时值、水汽浓度实时值的变化速率和载板在腔体内的预估剩余工作时长；根据腔体内的水汽浓度实时值和变化速率，确定预估剩余工作时长内腔体内的预估水汽浓度结果；在预估水汽浓度结果超出目标水汽浓度范围的情况下，确定调整腔体内的水汽浓度后使得所述水汽浓度保持在所述目标水汽浓度范围内的目标调整水汽量，并根据所述目标调整水汽量，通过目标调整方式调整所述腔体内的水汽浓度，使得所述腔体内的水汽浓度保持在所述目标水汽浓度范围之内。
本发明授权物理气相沉积的水汽控制方法、装置、设备和介质在权利要求书中公布了：1.一种物理气相沉积的水汽控制方法，其特征在于，包括： 当用于执行物理气相沉积的载板进入腔体后，确定所述腔体内的水汽浓度实时值、所述水汽浓度实时值的变化速率和所述载板在所述腔体内的预估剩余工作时长； 根据所述腔体内的水汽浓度实时值和所述变化速率，确定所述预估剩余工作时长内所述腔体内的预估水汽浓度结果； 在所述预估水汽浓度结果超出目标水汽浓度范围的情况下，确定调整所述腔体内的水汽浓度后使得所述水汽浓度保持在所述目标水汽浓度范围内的目标调整水汽量，并根据所述目标调整水汽量，通过目标调整方式调整所述腔体内的水汽浓度，使得所述腔体内的水汽浓度保持在所述目标水汽浓度范围之内； 其中，不同的物理气相沉积材料对应不同的目标水汽浓度范围。
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