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龙图腾网获悉华南理工大学;中国人民解放军国防科技大学申请的专利一种靶材、靶材制备方法及制备磷内嵌富勒烯的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117966110B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311691372.9，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种靶材、靶材制备方法及制备磷内嵌富勒烯的方法是由高松;伍智荣;周珅;蒋尚达;袁嘉悦;刘正设计研发完成，并于2023-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种靶材、靶材制备方法及制备磷内嵌富勒烯的方法在说明书摘要公布了：本发明属于内嵌富勒烯制备领域，具体是涉及到一种靶材、靶材制备方法及制备磷内嵌富勒烯的方法，其中靶材包括固态前驱体底座和混合固体粉末；所述混合固体粉末包括富勒烯内嵌物粉末和固体粉末粘合剂；所述固态前驱体底座上设置有凹陷，所述混合固体粉经过至少一次冲压定型填充于固态前驱体底座的凹陷中，并且在冲压定型之后固态前驱体底座和混合固体粉经过至少一次高温粘合成型，本发明能很好的解决气态前驱体合成内嵌富勒烯遇到的对环境和人造成的毒性危害问题，有助于促进更多种类内嵌富勒烯的合成及内嵌富勒烯的相关领域研究和发展。

本发明授权一种靶材、靶材制备方法及制备磷内嵌富勒烯的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于红磷制备磷内嵌富勒烯的方法，其特征是，使用磁控溅射设备、基底、富勒烯原料以及固态前驱体靶材，包括如下步骤： 制备磷内嵌富勒烯：将固态前驱体靶材、富勒烯原料和基底放置在磁控溅射设备的对应位置，惰性气源转化而成的等离子体轰击固态前驱体靶材，且轰击得到的含磷束流被加速场电压赋予动量获得高能含磷束流，高温升华的富勒烯原料在基底的表面冷却沉积成富勒烯薄膜，富勒烯薄膜被高能含磷束流轰击，形成磷内嵌富勒烯； 所述制备磷内嵌富勒烯具体包括： S21、将固态前驱体靶材、富勒烯原料和基底放置在磁控溅射设备的对应位置，所述富勒烯原料为700mg富勒烯粉末，并装在坩埚内，所述基底为3.5m的铜箔基底； S22、打开冷却装置，使用泵装置将真空腔体抽至10-3Pa，通入30sccm纯度≥99.99%的氩气，开启温度控制历经三小时升温至400℃，随后使用PID反馈控制通过温度将升华的富勒烯沉积速率设置为1.2Ås，温度在550℃至650℃范围内； S23、铜箔基底在真空腔体内卷绕，高温升华的富勒烯在铜箔基底的表面冷却沉积成富勒烯薄膜，富勒烯薄膜被高能含磷束流轰击，形成磷内嵌富勒烯；整个反应过程持续5小时； 所述制备磷内嵌富勒烯粗产品包括： S24、磁控溅射结束后，停止加热待温度下降至室温，关闭气体管路后停止泵装置工作，打开阀门使真空腔体与大气连通，打开腔门取出铜箔基底，将铜箔基底置于甲苯溶液，经过超声收集、抽滤、旋蒸后获得磷内嵌富勒烯粗产品； 所述固态前驱体靶材包括固态前驱体底座和混合固体粉末； 所述混合固体粉末包括富勒烯内嵌物粉末和固体粉末粘合剂； 所述固态前驱体底座上设置有凹陷，所述混合固体粉经过至少一次冲压定型填充于固态前驱体底座的凹陷中，并且在冲压定型之后固态前驱体底座和混合固体粉经过至少一次高温粘合成型。

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