厦门大学张增星获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118360580B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410576717.4，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具是由张增星;张文君;薛晨阳;景俊民;姚斌;徐彦波设计研发完成，并于2024-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具在说明书摘要公布了：本发明涉及压力传感器领域，具体涉及一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具，包括：由两形状相同的金属外壳、四定位销和一金属盖板组成的治具本体，以及用于实现治具本体支撑限位的治具倾斜基座；所述的两形状相同的金属外壳通过四个定位销对接实现压力晶体的限位，且所述的两形状相同的金属外壳上对称开设有一组溅射孔；所述的金属盖板用于遮盖压力晶体无需溅射沉积的区域。本发明能够精准控制溅射沉积范围的治具，以实现石英晶体生产溅射沉积环节侧电极薄膜图形的一致化，并且可以通过对治具图形进行灵活的设计，以实现侧电极溅射沉积图形的不同。
本发明授权一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具在权利要求书中公布了：1.一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具，其特征在于：包括：由两形状相同的金属外壳、四定位销和一金属盖板组成的治具本体，以及用于实现治具本体支撑限位的治具倾斜基座；所述的两形状相同的金属外壳通过四个定位销对接实现压力晶体的限位，且所述的两形状相同的金属外壳上对称开设有一组溅射孔；所述的金属盖板用于遮盖压力晶体无需溅射沉积的区域； 所述的两形状相同的金属外壳通过四个定位销对接形成类圆形的夹持腔，所述的金属盖板置于夹持腔内。
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