光科芯图(北京)科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉光科芯图(北京)科技有限公司申请的专利一种EUV光源系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118658773B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310233463.1，技术领域涉及：H01J65/04；该发明授权一种EUV光源系统及方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种EUV光源系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及等离子体技术领域，特别涉及一种EUV光源系统及方法，EUV光源系统包括探测组件，控制模块，电力模块、气体装置及放电腔，探测组件包括气流计；气体装置用于向放电腔通入工作气体，电力模块用于向放电腔施加电压使工作气体电离，探测组件分别与电力模块、气体装置、放电腔以及控制模块信号连接，探测组件监测电力模块放电腔的电压信号、气体装置的气流量及放电腔的工作参数并反馈给控制模块，控制模块根据探测组件反馈的信息并在电压信号，气流量以及放电腔的工作参数不处于对应的预设范围时，控制气流计调节气流量的大小。控制模块接收探测组件反馈的信息调整气体流量使得腔内EUV辐射功率达到最优。
本发明授权一种EUV光源系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种EUV光源系统，其特征在于：所述EUV光源系统包括探测组件，控制模块，电力模块、气体装置及放电腔，所述探测组件包括气流计； 所述气体装置用于向所述放电腔通入工作气体，所述电力模块用于向所述放电腔施加电压使工作气体电离，所述探测组件分别与所述电力模块、所述气体装置、所述放电腔以及所述控制模块信号连接，所述探测组件监测所述电力模块所述放电腔的电压信号、所述气体装置的气流量及所述放电腔的工作参数并反馈给所述控制模块，所述控制模块根据所述探测组件反馈的信息并在所述电压信号，所述气流量以及所述放电腔的工作参数不处于对应的预设范围时，控制所述气流计调节所述气流量的大小。
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