安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司张德海获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利降低片盒内金属残留的清洗设备及工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118699014B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410858008.5，技术领域涉及：B08B9/28；该发明授权降低片盒内金属残留的清洗设备及工艺是由张德海;甘志金;何园设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本降低片盒内金属残留的清洗设备及工艺在说明书摘要公布了：本发明提供降低片盒内金属残留的清洗设备及工艺，包括清洗池以及用于转运内置晶圆片盒的转运装置，所述转运装置包括第一承载主体，所述第一承载主体内壁转动连接有第二承载主体，所述片盒设置于第二承载主体表面，所述第二承载主体外侧安装有对晶圆顶部承载限位的限位承载装置；所述第二承载主体下方设置有液力清洁装置，控制所述液力清洁装置伸入片盒底部对晶圆进行限位并且对片盒内壁进行清洁，所述片盒底部具有通口。该发明能够对片盒内部进行深度清洁，避免了片盒内金属残留对晶圆造成污染，保证了晶圆以及片盒清洁的质量。
本发明授权降低片盒内金属残留的清洗设备及工艺在权利要求书中公布了：1.降低片盒内金属残留的清洗设备，包括清洗池100以及用于转运内置晶圆200片盒300的转运装置，其特征在于： 所述转运装置包括第一承载主体400，所述第一承载主体400内壁转动连接有第二承载主体500，所述片盒300设置于第二承载主体500表面，所述第二承载主体500外侧安装有对晶圆200顶部承载限位的限位承载装置600； 所述第二承载主体500下方设置有液力清洁装置700，控制所述液力清洁装置700伸入片盒300底部对晶圆200进行限位并且对片盒300内壁进行清洁，所述片盒300底部具有通口，所述通口尺寸大于液力清洁装置700供液力清洁装置700穿过； 在对晶圆和片盒清洁的过程中，限位承载装置和液力清洁装置分别位于两侧对晶圆的位置进行调整，让晶圆与片盒相错开。
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