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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利模拟机械手臂运动的方法、装置、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118752490B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411148985.2，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权模拟机械手臂运动的方法、装置、电子设备和存储介质是由陈冒慧;孙文彬设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本模拟机械手臂运动的方法、装置、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种模拟机械手臂运动的方法、装置、电子设备和存储介质，涉及半导体技术领域。方法应用于前端设备，前端设备的显示界面中包括虚拟机械手臂，方法包括：获取机械手臂控制指令；其中，机械手臂控制指令包括真实机械手臂拾取晶圆或放置晶圆时所要运动到的目标位置；在前端设备的显示界面中，确定与目标位置对应的虚拟目标位置；确定虚拟机械手臂从当前位置运动到虚拟目标位置时的整体运动参数以及组成虚拟机械手臂的各虚拟组件的运动参数；根据整体运动参数和各虚拟组件的运动参数，控制虚拟机械手臂运动到虚拟目标位置。通过本方案可以使虚拟机械手臂与真实机械手臂的运动过程保持一致，以此实现对真实机械手臂运动过程的监控。

本发明授权模拟机械手臂运动的方法、装置、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种模拟机械手臂运动的方法，其特征在于，应用于前端设备，所述前端设备的显示界面中包括至少一个虚拟机械手臂，每个虚拟机械手臂各自对应晶圆传输平台上的一个真实机械手臂，所述方法包括： 响应于半导体设备的控制器向晶圆传输平台上的真实机械手臂发送机械手臂控制指令，获取所述机械手臂控制指令；其中，所述机械手臂控制指令包括所述真实机械手臂拾取晶圆或放置晶圆时所要运动到的目标位置； 在所述前端设备的显示界面中，确定与所述目标位置对应的虚拟目标位置； 获取所述虚拟目标位置关联的位置属性，以及所述虚拟机械手臂在所述显示界面中的当前位置关联的位置属性；其中，所述位置属性包括所述虚拟机械手臂在所述显示界面中的整体位置参数，所述虚拟机械手臂处于默认状态时各虚拟组件的方向角参数、所述虚拟机械手臂的末端触达所述虚拟目标位置或当前位置时各虚拟组件的方向角参数；所述整体位置参数为虚拟机械手臂相对参考方向的整体方向角或虚拟机械手臂相对预设参考点的水平距离； 根据所述当前位置关联的位置属性中的整体位置参数和所述虚拟目标位置关联的位置属性中的整体位置参数，确定所述虚拟机械手臂从所述当前位置运动到所述虚拟目标位置时的整体运动参数； 根据所述虚拟目标位置关联的位置属性所包括的虚拟机械手臂处于默认状态时各虚拟组件的方向角参数和虚拟机械手臂的末端触达所述虚拟目标位置时各虚拟组件的方向角参数，确定组成所述虚拟机械手臂的各虚拟组件的运动参数； 根据所述整体运动参数和组成所述虚拟机械手臂的各虚拟组件的运动参数，控制所述虚拟机械手臂运动到所述虚拟目标位置； 其中，所述根据所述整体运动参数和组成所述虚拟机械手臂的各虚拟组件的运动参数，控制所述虚拟机械手运动到所述虚拟目标位置，包括： 获取预先设定第一时间参数；其中，所述第一时间参数用于限定所述虚拟机械手臂从所述当前位置运动到所述虚拟目标位置的时间，且第一时间参数是预先根据真实机械手臂的运动过程确定； 根据所述第一时间参数和所述整体运动参数，控制所述虚拟机械手臂进行整体平移或旋转； 响应于所述虚拟机械手臂的整体运动完成，根据所述虚拟机械手臂的各虚拟组件的运动参数，控制各所述虚拟组件进行运动，使得运动完成后的虚拟机械手臂到达所述虚拟目标位置； 其中，若所述虚拟机械手臂对应的是晶圆传输平台传送模块中的真实机械手臂，则所述位置属性中的整体位置参数为虚拟机械手臂相对参考方向的整体方向角，所述整体运动参数包括所述虚拟机械手臂的整体旋转角度； 相应的，所述根据所述当前位置关联的位置属性中的整体位置参数和所述虚拟目标位置关联的位置属性中的整体位置参数，确定所述虚拟机械手臂从所述当前位置运动到所述虚拟目标位置时的整体运动参数，包括： 确定所述当前位置关联的位置属性中的整体方向角和所述虚拟目标位置关联的位置属性中的整体方向角的差值； 若所述差值的绝对值大于180度且差值大于0度，则所述整体旋转角度等于所述差值减去360度； 若所述差值的绝对值大于180度且差值小于0度，则所述整体旋转角度等于所述差值加上360度； 若所述差值的绝对值小于或等于180度，则直接将所述差值作为所述整体旋转角度； 若所述虚拟机械手对应的是晶圆传输平台设备前端模块中的真实机械手臂，则所述位置属性中的整体位置参数为所述虚拟机械手臂相对预设参考点的水平距离，所述整体运动参数包括所述虚拟机械手臂的平移距离和平移方向； 相应的，所述根据所述当前位置关联的位置属性中的整体位置参数和所述虚拟目标位置关联的位置属性中的整体位置参数，确定所述虚拟机械手臂从所述当前位置运动到所述虚拟目标位置时的整体运动参数，包括： 确定所述当前位置关联的位置属性中的水平距离和所述虚拟目标位置关联的位置属性中的水平距离的差值，并将所述差值作为所述平移距离； 若所述差值的大于0，则确定所述平移方向为向右； 若所述差值的小于0，则确定所述平移方向为向左。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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