北京北方华创微电子装备有限公司王宁获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利供气装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118824892B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310409726.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权供气装置及半导体工艺设备是由王宁;李柏仪设计研发完成，并于2023-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本供气装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种供气装置及半导体工艺设备，其中，所述供气装置包括：进气组件、出气组件和气流调节装置；进气组件设有第一出气口，出气组件设有第一进气口，第一出气口与第一进气口对接，出气组件包括导气板，导气板与第一进气口相对，导气板分布有多个贯穿导气板的通气孔，第一出气口在导气板上的正投影位于导气板的中心区域；气流调节装置包括导流罩和驱动组件，驱动组件与导流罩驱动连接，导流罩设于第一出气口处，且导流罩上开设有第一穿孔，驱动组件用于驱动导流罩朝靠近或远离导气板的方向移动，以调整第一出气口的口壁与导流罩的外侧壁的间距。所述供气装置用于按需向腔体供应工艺气体。
本发明授权供气装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种供气装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：进气组件110、出气组件120和气流调节装置130； 所述进气组件110设有第一出气口111，所述出气组件120设有第一进气口121，所述第一出气口111与所述第一进气口121对接，所述出气组件120包括导气板122，所述导气板122与所述第一进气口121相对，所述导气板122分布有多个贯穿所述导气板122的通气孔，所述第一出气口111在所述导气板122上的正投影位于所述导气板122的中心区域； 所述气流调节装置130包括导流罩131和驱动组件132，所述驱动组件132与所述导流罩131驱动连接，所述导流罩131设于所述第一出气口111处，且所述导流罩上开设有第一穿孔1312，所述驱动组件132用于驱动所述导流罩131朝靠近或远离所述导气板122的方向移动，以调整所述第一出气口111的口壁与所述导流罩131的外侧壁1311的间距。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励