北京北方华创微电子装备有限公司孙中岳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利基座及半导体工艺腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118835222B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310446029.1，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权基座及半导体工艺腔室是由孙中岳设计研发完成，并于2023-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座及半导体工艺腔室在说明书摘要公布了：本申请公开一种基座及半导体工艺腔室，属于半导体技术领域。基座包括基座本体、磁性组件以及位于基座本体上的多个承载件，承载件用于承载晶圆，且承载件绕自身的轴线可转动地设置于基座本体；磁性组件包括针对每一承载件设置的电磁件和与承载件固定连接的多个第一导磁件；多个第一导磁件绕承载件的轴线周向间隔设置；电磁件与多个第一导磁件间隔设置，电磁件用于在处于通电状态的情况下，对第一导磁件产生作用力，以驱动第一导磁件带动承载件绕自身轴线转动。半导体工艺腔室包括上述的基座以及腔室本体，基座本体、承载件和第一导磁件均设置于腔室本体之内。如此，有利于降低基座的加工难度和加工成本。
本发明授权基座及半导体工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种基座，其特征在于，包括基座本体200，磁性组件400以及位于所述基座本体200上的多个承载件300； 所述承载件300用于承载晶圆700，且所述承载件300绕自身的轴线可转动地设置于所述基座本体200； 所述磁性组件400包括针对每一所述承载件300设置的电磁件410和与所述承载件300固定连接的多个第一导磁件430； 多个所述第一导磁件430绕所述承载件300的轴线周向间隔设置； 所述电磁件410与所述多个第一导磁件430间隔设置，所述电磁件410用于在处于通电状态的情况下，对所述第一导磁件430产生作用力，以驱动所述第一导磁件430带动所述承载件300绕自身轴线转动。
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