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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆用回收处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119028879B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411183297.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆用回收处理装置是由邵毅;冯校亮设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆用回收处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆用回收处理装置，包括内部带有电加热管的处理槽，还包括用于密封所述处理槽上端开口的密封板、热量交换的板式换热器以及设置在设所述处理槽内腔的多个自动倒料单元；所述密封板的下端设置有用于承载花篮的放置架以及用于对所述密封板高度进行调节的电动伸缩杆；所述板式换热器上设置有第一进料管、第一排料管、安装有送料泵的第二进料管以及第二排料管，所述第二排料管分别与多个所述送液管连接。本装置通过板式换热器使得第一混合酸液与第二混合酸液之间进行热量交换，使得交换后的第二混合酸液具有一定温度，可减小后续电加热管的电能损耗，起到节约电能的作用，两种酸处理均在同一处理槽中进行，减小了装置的占用空间。

本发明授权一种晶圆用回收处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆用回收处理装置，包括内部带有电加热管的处理槽1，所述处理槽1的上端敞开设置，其特征在于：还包括用于密封所述处理槽1上端开口的密封板3、用于热量交换的板式换热器7以及设置在设所述处理槽1内腔的多个自动倒料单元； 所述密封板3的下端设置有用于承载花篮的放置架4以及用于对所述密封板3高度进行调节的电动伸缩杆2； 所述自动倒料单元包括多个设置在所述处理槽1内腔且两两相对设置的安装板17，相对的两个安装板17之间通过转轴13转动设置有倾倒桶12，所述转轴13与所述倾倒桶12偏心设置，所述转轴13上固定设置有竖直设置的挡块14，所述安装板17上分别设置有第一挡条15和第二挡条16，初始状态，所述第一挡条15与所述挡块14接触形成阻挡，每个所述倾倒桶12的上方均设置有送液管31； 所述板式换热器7上设置有第一进料管9、第一排料管8、安装有送料泵11的第二进料管以及第二排料管10，所述第二排料管10分别与多个所述送液管31连接； 所述处理槽1上设置有进液管101以及两个出液管，两个所述出液管上分别安装有第一排料泵5和第二排料泵6，所述第一排料泵5的出液端与所述第一进料管9连接，所述处理槽1的内腔底部设置有超声波振板102； 还包括自动检测单元，当检测到所述处理槽1中的处理酸液被排除时，其自动解除对多个所述倾倒桶12的限位锁定，当处理槽1中未添加酸液时，其所述自动检测单元无法对多个所述倾倒桶12进行限位锁定。

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