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龙图腾网获悉中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司申请的专利一种电子级四甲基硅烷充装系统及处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119042521B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411151205.X，技术领域涉及：F17C5/06；该发明授权一种电子级四甲基硅烷充装系统及处理方法是由周钰良;尚青;吕灵华;花莹曦;赵丙倩;张露露;杨宁宁;靳亚英设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子级四甲基硅烷充装系统及处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及了一种电子级四甲基硅烷充装系统，包括原料罐、气体纯化结构、气液分离器、液体纯化器和钢瓶，本发明还涉及处理方法，本发明所述的一种电子级四甲基硅烷充装系统处理方法，通过原料罐液体气化经气体纯化结构完成4MS气体中氧、二氧化碳以及颗粒物等杂质的去除，进而通过气液分离器将气体转化为液体，通过液体纯化器去除金属离子，完成二次充装处理，即可得到纯度≥99.99％的超纯四甲基硅烷。该充装方法减少了充装动力带来的影响，又能提高四甲基硅烷充装过程中的纯度。本发明设计简单，在两级纯化器的协同作用下实现了充装后的四甲基硅烷纯度高和减少中间杂质影响的目的。

本发明授权一种电子级四甲基硅烷充装系统及处理方法在权利要求书中公布了：1.一种电子级四甲基硅烷充装系统的处理方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：关闭原料罐出气阀和原料罐进气阀后，将原料罐内原料通过伴热带加热后保持恒温，待达到压力后，打开原料罐出气阀和气液分离器进气阀，气体分别经过原料罐出气阀、气体纯化结构及气液分离器进气阀到达气液分离器中； S2：气液分离器通过冷却液将四甲基硅烷气体冷却至液体，当气液分离器达到液位后，准备进行下一步； S3：通过钢瓶气端阀和钢瓶真空阀，将钢瓶压力抽至负压-0.1MPa，持续30s后；关闭钢瓶真空阀，打开钢瓶氮气阀，待钢瓶压力至0.1MPa后，持续30s后，关闭钢瓶氮气阀；重复上述操作3次，分析合格后，使钢瓶保持真空负压状态，压力为-0.1MPa及以下，进行下一步； S4：打开气液分离器出口阀、液体纯化器出口阀和钢瓶进液端阀阀，由于在压力和重力的作用下，将液体经气液分离器出口阀、液体纯化器和钢瓶进液端阀充入到钢瓶内，得到充装的超纯四甲基硅烷； 气液分离器前，四甲基硅烷经气体纯化结构去除颗粒物、水分和氧气杂质；过气液分离器后经液体纯化器去除金属离子杂质； 所述处理方法采用电子级四甲基硅烷充装系统，该系统包括原料罐，所述原料罐与气液分离器通过管道连通，所述原料罐上端设置有原料罐出气阀和原料罐进气阀，所述原料罐与气液分离器之间设置有气体纯化结构，所述气液分离器上端设置有气液分离器进气阀，所述气液分离器下端设置有气液分离器出口阀，所述气液分离器出口阀连接液体纯化器，液体纯化器下端设置有液体纯化器出口阀，所述液体纯化器出口阀通过钢瓶进液端阀连通钢瓶，所述钢瓶上端设置有钢瓶气端阀，所述钢瓶气端阀连通钢瓶真空阀、钢瓶氮气阀、放空阀和分析阀。

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