电子科技大学王卓获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种SOI横向功率半导体器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119092545B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411190124.0,技术领域涉及:H10D30/65;该发明授权一种SOI横向功率半导体器件是由王卓;廖阳婕;马鼎翔;王嘉伟;白瀚文;乔明;张波设计研发完成,并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SOI横向功率半导体器件在说明书摘要公布了:本发明提供一种SOI横向功率半导体器件,属于功率半导体器件技术领域。本发明提供一种带栅极极板的SOI横向功率半导体器件,通过在栅极下方的埋氧层中设置栅极极板,能在栅极极板上方再引入一个沟道,新增一条电流路径,从而提高器件电流导通能力。除此之外,本发明还提供不同的设计方案:通过在漂移区下方的埋氧层中设置漂移区极板,来降低比导通电阻;提供带栅极极板与漂移区极板的partial‑SOI横向功率半导体器件,以减小自热效应。本发明针对SOI横向功率半导体器件,提供具有高电流导通能力和低比导通电阻的功率半导体器件。
本发明授权一种SOI横向功率半导体器件在权利要求书中公布了:1.一种SOI横向功率半导体器件,其特征在于:包括第二掺杂类型的衬底110,衬底110上设置有第一埋氧层108,第一埋氧层108中设置有第一栅极极板111; 第一埋氧层108上方设置有第一掺杂类型的漂移区107,第一掺杂类型的漂移区107内左侧设置有第二掺杂类型的体区106,右侧设置有第一掺杂类型的漏极区109,第二掺杂类型的体区106内设置有第一掺杂类型的第一源极区105和第二掺杂类型的第二源极区118,其中第一掺杂类型的第一源极区105和第二掺杂类型的第二源极区118在体内方向相切排列; 第一掺杂类型的漂移区107表面设置有栅氧化层103,第一掺杂类型的第一源极区105和第二掺杂类型的第二源极区118上方设有源极金属101,其中源极金属101与第一掺杂类型的第一源极区105和第二掺杂类型的第二源极区118相接触,漏极金属104位于第一掺杂类型的漏极区109上方,其中漏极金属104与第一掺杂类型的漏极区109相接触,栅氧化层103的左边界与第一掺杂类型的第一源极区105的右边界相切,右边界超出第二掺杂类型的体区106的右边界,栅氧化层103上设置有位于第一栅极极板111正上方的栅极102; 第一栅极极板111与栅极102接同一电位,或者单独控制,第一栅极极板111的偏置电压需保证第一栅极极板111上方的沟道能开启; 第一埋氧层108中设置有第一漂移区极板112,其中第一栅极极板111位于栅极102正下方,第一漂移区极板112位于第一栅极极板111右侧、第一掺杂类型的漂移区107下方; 第一漂移区极板112电位单独控制,其偏置电位大于第一栅极极板111电位,小于漏极金属104电位。
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