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龙图腾网获悉上海大尘微影半导体科技有限公司申请的专利一种运动台减振系统及扫描电子显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119108251B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411237318.1，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权一种运动台减振系统及扫描电子显微镜是由文卫朋设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种运动台减振系统及扫描电子显微镜在说明书摘要公布了：本发明属于半导体扫描电子显微镜技术领域，具体公开了一种运动台减振系统及扫描电子显微镜，包括真空腔体、缓冲模块以及运动控制单元，所述缓冲模块位于真空腔体内侧；所述真空腔体内部还设置有运动台、扫描电镜和测量系统，所述缓冲模块安装在运动台上，所述扫描电镜和测量系统安装在真空腔体的侧壁，所述缓冲模块侧边设置有支撑座，所述支撑座贯穿真空腔体并连接地基，所述真空腔体外侧安装有加速度传感器以及主动减振器，主动减振器位于真空腔体与地基之间；所述缓冲模块用于进行能量的储存和释放，从而将运动台驱动反力冲击下的高频转化为低频成分，且缓冲模块可抵消部分运动台的驱动反力，降低振动幅值。

本发明授权一种运动台减振系统及扫描电子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种运动台减振系统，其特征在于：包括真空腔体4、缓冲模块8以及运动控制单元，所述缓冲模块8位于真空腔体4内侧； 所述真空腔体4内部还设置有运动台5、扫描电镜6和测量系统7，所述缓冲模块8安装在运动台5上，所述扫描电镜6和测量系统7安装在真空腔体4的侧壁，所述缓冲模块8侧边设置有支撑座9，所述支撑座9贯穿真空腔体4并连接地基1，所述真空腔体4外侧安装有加速度传感器3以及主动减振器2，所述主动减振器2位于真空腔体4与地基1之间； 所述缓冲模块8用于进行能量的储存和释放，从而将运动台5驱动反力冲击下的高频转化为低频成分，且缓冲模块8可抵消部分运动台5的驱动反力，降低振动幅值； 所述缓冲模块8的基础上增加运动控制单元，所述运动控制单元基于加速度前馈的闭环控制策略，通过所述加速度传感器3测量真空腔体4振动信号，主动减振器2根据加速度传感器3测量信号进行减振前馈控制，同时运动控制单元还可通过加速度传感器3反馈的真空腔体4振动加速度信号调节运动台5驱动单元输出的驱动力，以补偿消弭真空腔体4上残留的低频振动。

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