重庆欣晖材料技术有限公司李石雷获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆欣晖材料技术有限公司申请的专利刻蚀装置以及电极获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119132917B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411173240.1,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权刻蚀装置以及电极是由李石雷设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀装置以及电极在说明书摘要公布了:本公开实施例公开了一种刻蚀装置以及电极,该刻蚀装置包括:刻蚀槽,刻蚀槽具有底壁和侧壁,底壁上设有至少一个排液口;排液管路,排液管路通过排液口与刻蚀槽连通;排液泵,排液泵设于排液管路上;支撑板,支撑板位于刻蚀槽内且连接侧壁;其中,支撑板被配置为承载电极;电极具有多个通孔,刻蚀通孔的蚀刻液经由排液口排出至排液管路;支撑板和排液口之间的距离大于或者等于预设值。
本发明授权刻蚀装置以及电极在权利要求书中公布了:1.一种刻蚀装置,其特征在于,包括: 刻蚀槽,所述刻蚀槽具有底壁和侧壁,所述底壁上设有至少一个排液口; 排液管路,所述排液管路通过所述排液口与所述刻蚀槽连通; 排液泵,所述排液泵设于所述排液管路上; 支撑板,所述支撑板位于所述刻蚀槽内且连接所述侧壁;其中,所述支撑板被配置为承载电极;所述电极具有多个通孔,刻蚀所述通孔的蚀刻液经由所述排液口排出至所述排液管路;所述支撑板和所述排液口之间的距离大于或者等于预设值,所述预设值大于或者等于100毫米。
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