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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种晶圆位置检测装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119132999B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310701127.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆位置检测装置及半导体设备是由赵海洋;陈路路设计研发完成，并于2023-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆位置检测装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆位置检测装置及半导体设备，晶圆位置检测装置的第一环形滑轨和第二环形滑轨相对的设置于半导体腔室的上下两侧；线性传感器发射端与第一环形滑轨滑动连接，线性传感器接收端与第二环形滑轨滑动连接；且线性传感器发射端在晶圆的正投影以及线性传感器接收端在晶圆的正投影均部分与晶圆重叠；处理器用于控制驱动器驱动线性传感器发射端和线性传感器接收端同步滑动；并控制线性传感器发射端发射检测信号，以及线性传感器接收端接收未被晶圆遮挡的检测信号；根据线性传感器接收端接收到的检测信号，确定晶圆的圆心位置；其中，检测信号能够穿透半导体腔室。本申请解决了现有的工艺腔室密封难和需冷却系统的问题。

本发明授权一种晶圆位置检测装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体腔室的晶圆位置检测装置，其特征在于，所述半导体腔室内设置有用于承载晶圆的承载部；所述晶圆位置检测装置设置在所述半导体腔室的外侧，所述晶圆位置检测装置包括第一环形滑轨、第二环形滑轨、线性传感器发射端、线性传感器接收端、驱动器和处理器； 所述第一环形滑轨和所述第二环形滑轨相对的设置于所述半导体腔室的上下两侧； 所述线性传感器发射端与所述第一环形滑轨滑动连接，所述线性传感器接收端与所述第二环形滑轨滑动连接；且所述线性传感器发射端在所述晶圆的正投影以及所述线性传感器接收端在所述晶圆的正投影均部分与所述晶圆重叠； 所述驱动器用于驱动所述线性传感器发射端和所述线性传感器接收端沿各自所在的环形滑轨同步滑动； 所述处理器用于：控制所述驱动器驱动所述线性传感器发射端和线性传感器接收端沿各自所在的环形滑轨同步滑动；并控制所述线性传感器发射端发射检测信号，以及所述线性传感器接收端接收未被所述晶圆遮挡的检测信号；根据所述线性传感器接收端接收到的所述检测信号，确定所述晶圆的圆心位置；其中，所述检测信号能够穿透所述半导体腔室。

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