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龙图腾网获悉新铂科技(东莞)有限公司申请的专利一种等离子体增强碳包硅装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119194398B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411317788.9，技术领域涉及：C23C16/26；该发明授权一种等离子体增强碳包硅装置及其方法是由田修波设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体增强碳包硅装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明涉及锂电池领域的一种等离子体增强碳包硅装置及其方法，包括炉体和抽气机构，炉体上设置有控制器，所述炉体内通过插板阀间隔形成有装料室、包覆室和出料室，炉体内设置有可转动的传送带，传送带上设置有用于放置工件的载物台，炉体上设置有进气机构，进气机构上连接有用于对镀膜气体进行加热的加热机构，且进气机构向包覆室延伸的端部连接有多孔布气电极板，包覆室内设置有气动振动机构，炉体上连接有脉冲机构和偏压机构，本发明通过碳包硅装置及其方法对硅粉进行碳包覆可起到均匀包覆，以及通过增加加热机构、多孔布气电极板、气动振动机构和偏压机构可以进一步提高包覆的均匀性和可靠性，进一步提高包覆效果和效率。

本发明授权一种等离子体增强碳包硅装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体增强碳包硅装置，包括炉体和用于对炉体内部抽真空的抽气机构，炉体的两端分别形成有进料口和出料口，炉体上设置有控制器，其特征在于：所述炉体内通过可开合的插板阀间隔形成有装料室、用于等离子体包覆的包覆室和出料室，抽气机构与装料室、包覆室和出料室进行连通且可对其进行抽真空，炉体内设置有可转动的传送带，传送带的输送端沿装料室、包覆室和出料室进行延伸，且传送带上设置有用于放置工件的载物台，炉体上设置有用于向包覆室输送镀膜气体的进气机构，进气机构上连接有用于对镀膜气体进行加热的加热机构，且进气机构向包覆室延伸的端部连接有多孔布气电极板，包覆室内设置有用于带动传送带上的载物台进行振动的气动振动机构； 炉体上连接有脉冲机构和偏压机构，脉冲机构的输出端与进气机构和所述炉体连接，脉冲机构用于离化输送至包覆室内的镀膜气体，偏压机构的输送端与炉体和包覆室连接，偏压机构用于沉积镀膜气体； 抽气机构包括分子泵、机械泵和若干导管，机械泵与分子泵进行连接，分子泵通过导管分别与装料室、包覆室和出料室进行导通连接； 进气机构包括进气管、流量计和混气桶，流量计与混气桶的输入端进行导通连接，进气管的一端与混气桶的输出端进行导通连接，且进气管的另一端向包覆室内部延伸并与多孔布气电极板连接，多孔布气电极板上形成有进气孔和与进气孔连通的若干出气孔，进气管与进气孔进行导通连接； 气动振动机构包括气动震头和震动台，震动台通过支撑架安装于传送带上，气动震头安装于炉体的底部，且气动震头的振动端穿过炉体向包覆室延伸，使震动台带动载物台输送至包覆室内，通过气动震头对震动台进行振动； 脉冲机构包括高压脉冲电源，偏压机构包括偏压电源，偏压电源和高压脉冲电源均与控制器电性连接。

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