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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119199180B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411369929.1，技术领域涉及：G01P15/093；该发明授权一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器及测量方法是由刘文耀;邢恩博;刘来;周彦汝;唐军;刘俊;杨泽宇设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器及测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光栅干涉式加速度传感器技术领域，具体是一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器及测量方法。本发明解决了现有光栅干涉式加速度传感器分辨率较低、欧姆损耗较大的问题。一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器，包括激光器、分束器、声光调制器、电光调制器、光环行器、封装盒、平衡光电探测器、放大器、数字仪；封装盒的顶壁贯通开设有透光微孔；封装盒的内腔封装有敏感单元；所述敏感单元包括两个硅支撑块、硅质量块、分布式布拉格反射器、四列氮化硅悬臂梁、透明基板、准BIC超表面结构。本发明适用于加速度信号的测量。

本发明授权一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器，其特征在于：包括激光器1、分束器2、声光调制器3、电光调制器4、光环行器5、封装盒6、平衡光电探测器15、放大器16、数字仪17； 封装盒6的顶壁贯通开设有透光微孔；封装盒6的内腔封装有敏感单元；所述敏感单元包括两个硅支撑块7、硅质量块8、分布式布拉格反射器、四列氮化硅悬臂梁11、透明基板12、准BIC超表面结构；两个硅支撑块7均层叠于封装盒6的内底壁，且两个硅支撑块7呈左右对称分布；硅质量块8位于两个硅支撑块7之间，且硅质量块8的下表面高于两个硅支撑块7的下表面；所述分布式布拉格反射器包括自下而上交错层叠在一起的M个氮化硅层9和M个二氧化硅层10；M为正整数，且M≥2；分布式布拉格反射器层叠于硅质量块8的上表面，且分布式布拉格反射器的上表面低于两个硅支撑块7的上表面； 第一列氮化硅悬臂梁11连接于硅质量块8的左表面与第一个硅支撑块7的右表面之间；第二列氮化硅悬臂梁11连接于分布式布拉格反射器的左表面与第一个硅支撑块7的右表面之间；第三列氮化硅悬臂梁11连接于硅质量块8的右表面与第二个硅支撑块7的左表面之间；第四列氮化硅悬臂梁11连接于分布式布拉格反射器的右表面与第二个硅支撑块7的左表面之间；透明基板12同时层叠于两个硅支撑块7的上表面；所述准BIC超表面结构包括层叠于透明基板12上表面且呈等距交错平行排列的N个宽条形硅层13和N个窄条形硅层14；N为正整数，且N≥2； 激光器1的出射端与分束器2的入射端连接；分束器2的第一个出射端通过声光调制器3与平衡光电探测器15的第一个入射端连接；分束器2的第二个出射端通过电光调制器4与光环行器5的第一端口连接；光环行器5的第二端口与封装盒6上的透光微孔连接；光环行器5的第三端口与平衡光电探测器15的第二个入射端连接；平衡光电探测器15的信号输出端通过放大器16与数字仪17的信号输入端连接。

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