福建省晋华集成电路有限公司吴志胤获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉福建省晋华集成电路有限公司申请的专利一种图案的测量方法及调整方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119247706B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411686463.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种图案的测量方法及调整方法是由吴志胤;蔡建成;王远保;林斌斌设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种图案的测量方法及调整方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种图案的测量方法及调整方法中，包括：通过多次曝光工艺在子区域上形成多个间隔排列的条形图案，然后以条形图案为间隔将子区域中相邻条形图案之间的间距图形分成奇数列和偶数列，或者，将条形图案分为奇数列和偶数列；然后计算奇数列的尺寸的标准差和偶数列的尺寸的标准差，再将奇数列的尺寸的标准差和偶数列的尺寸的标准差与提供的标准值进行比对，能够得知奇数列和偶数列的尺寸偏差，实现图案的测量；以及，能够调整形成条形图案的工艺，实现图案的调整。
本发明授权一种图案的测量方法及调整方法在权利要求书中公布了：1.一种图案的测量方法，其特征在于，包括： 提供衬底，所述衬底包括多个子区域； 通过多次曝光工艺在所述子区域上形成多个间隔排列的条形图案，以所述条形图案为间隔将所述子区域中相邻所述条形图案之间的间距图形分成奇数列和偶数列； 计算所述奇数列的尺寸的标准差和所述偶数列的尺寸的标准差； 提供一标准值； 将所述奇数列的尺寸的标准差和所述偶数列的尺寸的标准差与所述标准值进行比对。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人福建省晋华集成电路有限公司，其通讯地址为：362200 福建省泉州市晋江市集成电路科学园联华大道88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励