大连理工大学杜立群获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利体波诱导表面波的静电感应掩膜电解加工的可视化装置与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119282280B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411428510.9,技术领域涉及:B23H3/10;该发明授权体波诱导表面波的静电感应掩膜电解加工的可视化装置与方法是由杜立群;杨晓臣;邬常昊;郗鸿凯;李奥奇设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本体波诱导表面波的静电感应掩膜电解加工的可视化装置与方法在说明书摘要公布了:一种体波诱导表面波的静电感应掩膜电解加工的可视化装置与方法,属于电解加工领域。该装置中的工件被绝缘胶带固定在带有方形通孔的绝缘挡板一侧,并插入电解槽中的卡槽。压电陶瓷片所在平面与工件所在平面呈45°角,电解槽的出水孔喷射出与工件所在平面呈45°的电解液流。高速相机、压电陶瓷片、出水孔和工件处于相同的水平位置。基于该装置,可实现工件的无线加工。压电陶瓷片激发的体波在工件表面诱导表面波,从而将气泡等电解产物及时排离,出水孔喷射的电解液流及时更新电解液。通过高速相机直接观测加工过程中的气泡衍化过程。本发明操作简单,可有效排出盲孔内的气泡,提高掩膜电解加工精度。
本发明授权体波诱导表面波的静电感应掩膜电解加工的可视化装置与方法在权利要求书中公布了:1.一种体波诱导表面波的静电感应掩膜电解加工的可视化装置,其特征在于,所述的可视化装置包括电源1、功放板2、电源线3、信号线4、阳极5、感应电极6、电解槽7、两个泵8、四根软管9、阴极13、两个换能器14;具体如下: 所述的电源1通过电源线3给阳极5和阴极13供电,阳极5和阴极13分别安装于电解槽7前、后侧壁701内侧;所述感应电极6安装于电解槽7中部;两个换能器14分别安装于电解槽7前、后侧壁701内侧,功放板2通过信号线4驱动两个换能器14完成电解产物17的去除;四根软管9两两一组,两组分别布置于电解槽7前、后侧壁701外侧,其中第一组软管的一端与前侧壁701外侧的软管接口703连接,另一端与第一个泵8的连通,第二组软管的一端与后侧壁701外侧的软管接口703连接,另一端与第二个泵8连通,泵8通过软管9实现电解槽7内的电解液循环; 所述的电解产物17是位于感应电极6上工件601的加工表面和非加工表面在加工过程中所产生的;在感应电极6安装于电解槽7中部时,工件601的加工表面与阴极13位于同一侧,工件601非加工表面与阳极5位于同一侧; 所述感应电极6将电解槽7分为前后两部分,电解槽7内安装的阳极5和阴极13关于感应电极6对称布置,两个换能器14关于感应电极6对称布置,电解槽7中的两个喷嘴708关于感应电极6对称布置; 所述的换能器14插入换能器支架707中的陶瓷固定孔713,换能器14一个位于阳极5与喷嘴708之间和另一个位于阴极13与喷嘴708之间; 所述的位于感应电极6上的工件601、位于喷嘴708上的出水孔712和位于换能器14上的压电陶瓷片141三者的中心处于相同的水平位置; 所述喷嘴708上出水孔712喷射出的电解液流15与工件601所在平面呈45°;所述的换能器14的压电陶瓷片141激发的声波16方向与工件601所在平面呈45°; 所述的感应电极6包括工件601、绝缘挡板602、绝缘胶带603、滑块605;具体的: 所述绝缘挡板602中间开有通孔604; 所述工件601由金属板606一面涂覆光刻胶607制作而成,其中,光刻胶607为具有镂空图形的绝缘材料,金属板606涂覆光刻胶607的一面为加工表面,未涂覆光刻胶的一面为非加工表面;工件601的非加工表面覆盖于绝缘挡板602的通孔604上,绝缘胶带603将工件601加工表面四周的非加工位置黏贴在绝缘挡板602任意一侧; 所述的滑块605安装于绝缘挡板602的上方;滑块605可在电解槽7中限位板709上滑动,使工件601的加工表面中心处于电解槽7正中心。
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