浙江理工大学楼益民获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江理工大学申请的专利一种复合全息光刻系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119310804B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411217485.X,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种复合全息光刻系统和方法是由楼益民;吴锋民;胡娟梅设计研发完成,并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合全息光刻系统和方法在说明书摘要公布了:本发明涉及复合全息光刻系统和方法,包括:照明子系统、数据处理子系统、复合光场输出子系统和感光材料平台,照明子系统包括光源、物光照明机构和参考光照明机构,物光照明机构包括多个物光照明通道,参考光照明机构包括多个参考光通道;数据处理子系统用于接收三维图像信息或三维结构信息,并将三维图像信息或者三维结构信息转换为波前信息,并将波前信息按照视角分组形成多个子区域;编码子波前信息形成对应的复合子光场信息,并将复合子光场信息输入至复合光场输出子系统;复合光场输出子系统用于接收照明子系统的多个物光通道的光,接收处理子系统的多个复合子光场信息,将复合子光场传输至感光材料平台所承载的感光材料上。实现了大面积、高分辨率的衍射结构和图案的输出。
本发明授权一种复合全息光刻系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种复合全息光刻系统,其特征在于,包括:照明子系统1、数据处理子系统2、复合光场输出子系统3和感光材料平台4, 所述照明子系统1包括光源11、物光照明机构和参考光照明机构,所述物光照明机构包括多个物光照明通道,所述参考光照明机构包括多个参考光通道,所述物光照明通道用于将所述光源发出的光照明至所述复合光场输出子系统,所述参考光通道用于将所述光源发出的光照射至所述感光材料平台4所承载的感光材料上; 所述数据处理子系统2用于接收三维图像信息或三维结构信息,并将所述三维图像信息或者三维结构信息转换为波前信息,并将所述波前信息按照视角分组形成多个子区域,一个所述子区域对应一个子波前信息;编码所述子波前信息形成对应的复合子光场信息,并将所述复合子光场信息输入至所述复合光场输出子系统3; 所述复合光场输出子系统3用于接收所述照明子系统1的多个所述物光通道的光,接收所述数据处理子系统2的多个复合子光场信息,将所述复合子光场传输至所述感光材料平台4所承载的感光材料上,并利用所述复合子光场衍射的子波前对所述感光材料的多个区域进行曝光; 所述感光材料平台4用于放置所述感光材料,所述感光材料用于接收所述复合子光场的光和所述参考光通道传输的光,并干涉记录。
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