北京信息科技大学;广州市南沙区北科光子感知技术研究院祝连庆获国家专利权
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龙图腾网获悉北京信息科技大学;广州市南沙区北科光子感知技术研究院申请的专利一种基于多层光学堆栈的红外探测器宽波段增透膜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119322383B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411441187.9,技术领域涉及:G02B1/115;该发明授权一种基于多层光学堆栈的红外探测器宽波段增透膜是由祝连庆;王亮;陈伟强;鹿利单;董明利;何彦霖设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于多层光学堆栈的红外探测器宽波段增透膜在说明书摘要公布了:本发明涉及红外探测器技术领域,公开了一种基于多层光学堆栈的红外探测器宽波段增透膜,包括以下具体步骤:步骤一:首先确定增透膜的应用波段,选择增透膜材料MgF2、Si、ZnSe,基底材料为GaSb;步骤二:依据菲涅尔定律和光波的相关理论,研究光波在经过不同界面时反射波和透射波振幅的大小以及反射相位的变化,利用相关公式求出多层膜的反射率特征矩阵,并考虑材料的折射率和吸收系数。通过采用新型多层膜设计,显著提高了红外探测器的透过率和波段响应,这种增透膜不仅适用于短中波红外探测器,还可扩展到其他光电设备,具有广泛的应用前景和市场潜力,通过这种技术,可以在保持成本效益的同时,显著提升器件和设备的性能。
本发明授权一种基于多层光学堆栈的红外探测器宽波段增透膜在权利要求书中公布了:1.一种基于多层光学堆栈的红外探测器宽波段增透膜制备方法,其特征在于,包括以下具体步骤: 步骤一:首先确定增透膜的应用波段,选择增透膜材料MgF2、Si、ZnSe,基底材料为GaSb; 步骤二:依据菲涅尔定律和光波理论,研究光波在经过不同界面时反射波和透射波振幅的大小以及反射相位的变化,求出多层膜的反射率特征矩阵,并考虑材料的折射率和吸收系数,计算多层增透膜的反射率和透射率; 步骤三:使用乙醇或丙酮溶剂来清洁GaSb基底,确保其表面无尘埃、油脂或其他污染物; 步骤四:在真空蒸镀设备中,按照以下顺序和厚度依次沉积各层材料: 第一层:MgF2,厚度为255.7nm; 第二层:Si,厚度为13.1nm; 第三层:ZnSe,厚度为80.39nm; 第四层:MgF2,厚度为107.5nm; 第五层:Si,厚度为15.73nm; 第六层:ZnSe,厚度为35.78nm; 第七层:MgF2,厚度为14.54nm; 第八层:Si,厚度为85.01nm; 每层的沉积厚度和速率均通过计算机控制,以确保精确沉积; 步骤五:每沉积一层,进行表面和光学特性的检测,确保每层材料达到设计规格,测试并分析涂覆增透膜后的GaSb基底在800~3000nm波段范围的透射率和反射率曲线,与未涂覆增透膜的基底性能进行对比,评估增透膜的效果。
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