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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利一种研磨设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119369284B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411777398.X，技术领域涉及：B24B37/00；该发明授权一种研磨设备是由杨舒乐设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种研磨设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种研磨设备，属于半导体技术领域。包括：支架；旋转组件，包括：轴套和研磨主轴，所述轴套固定安装在所述支架上，且套设在所述研磨主轴上；研磨砂轮，与所述研磨主轴固定连接；承片台，用于放置待加工的硅片；驱动机构，用于驱动所述研磨主轴带动所述研磨砂轮旋转，以对所述硅片进行研磨；角度检测机构，与所述研磨主轴连接，所述角度检测机构用于检测所述研磨主轴的轴线与所述承片台的轴线之间的角度数据；角度调节机构，分别与所述角度检测机构和所述研磨主轴连接，用于获取所述角度数据，并根据所述角度数据，对所述研磨主轴进行校准。本发明的技术方案能够自动校准研磨主轴的角度。

本发明授权一种研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨设备，其特征在于，包括： 支架1； 旋转组件，包括：轴套2和研磨主轴3，所述轴套2固定安装在所述支架1上，且套设在所述研磨主轴3上； 研磨砂轮4，与所述研磨主轴3固定连接； 承片台5，用于放置待加工的硅片； 驱动机构，用于驱动所述研磨主轴3带动所述研磨砂轮4旋转，以对所述硅片进行研磨； 角度检测机构，与所述研磨主轴3连接，所述角度检测机构用于检测所述研磨主轴3的轴线与所述承片台5的轴线之间的角度数据； 角度调节机构，分别与所述角度检测机构和所述研磨主轴3连接，用于获取所述角度数据，并根据所述角度数据，对所述研磨主轴3进行校准； 其中，所述角度检测机构包括： 第一伸缩组件6，设置在所述研磨主轴3上； 第二伸缩组件7，设置在所述第一伸缩组件6上； 第一连接杆8，所述第一连接杆8的第一端与所述第一伸缩组件6活动连接； 角度检测探头9，安装在所述第一连接杆8的第二端，所述角度检测探头9用于检测所述研磨主轴3的角度数据； 第二连接杆10，所述第二连接杆10的移动端1001与所述第二伸缩组件7连接，所述第二连接杆10的固定端1002与所述第一连接杆8连接； 其中，所述第一伸缩组件6在竖直方向上做伸缩运动时，带动所述第一连接杆8在所述竖直方向上运动，所述竖直方向垂直于水平面； 所述第二伸缩组件7在所述竖直方向上做伸缩运动时，带动所述第一连接杆8相对于所述第一伸缩组件6进行折叠运动或展开运动。

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