云南大学;华彩光能科技(云南)有限公司张文华获国家专利权
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龙图腾网获悉云南大学;华彩光能科技(云南)有限公司申请的专利一种ALD制备高质量SnO2非晶-纳米柱异质相的方法及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119403421B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411539986.X,技术领域涉及:H10K71/30;该发明授权一种ALD制备高质量SnO2非晶-纳米柱异质相的方法及其应用是由张文华;沈晓泱;刘挺丰;葛仕凤;薛宝;赵荣梅;徐钊为;李昕悦设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ALD制备高质量SnO2非晶-纳米柱异质相的方法及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种ALD制备高质量SnO2非晶‑纳米柱异质相的方法及其应用,涉及钙钛矿太阳能电池技术领域,包括以下步骤:S1、提供衬底并对其进行预处理得到预处理后的衬底;S2、在预处理后的衬底上旋涂氧化锡纳米晶溶液得到预处理膜层;S3、对预处理膜层表面进行等离子体溅射刻蚀得到第一处理件;S4、将第一处理件放入ALD中预热,使用四乙基锡和H2O2作为反应源,在第一处理件表面生长氧化锡纳米晶,控制腔室反应温度和沉积速度得到氧化锡非晶‑纳米柱异质相,完成制备。本发明还包括该种方法的应用,用于钙钛矿太阳能电池的制备。本方法简化了制备过程,对环境友好,且制备的异质相内部缺陷少,器件性能更为优越。
本发明授权一种ALD制备高质量SnO2非晶-纳米柱异质相的方法及其应用在权利要求书中公布了:1.一种ALD制备高质量SnO2非晶-纳米柱异质相的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、提供衬底并对其进行预处理得到预处理后的衬底;S2、在预处理后的衬底上旋涂氧化锡纳米晶溶液得到预处理膜层;S3、对预处理膜层表面进行等离子体溅射刻蚀得到第一处理件;S4、将第一处理件放入ALD中预热,使用四乙基锡和H2O2作为反应源,在第一处理件表面生长氧化锡纳米晶,控制腔室反应温度和沉积速度得到氧化锡非晶-纳米柱异质相,完成制备。
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