买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉辛耘企业股份有限公司申请的专利卡匣运送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119446990B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310976648.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权卡匣运送装置是由王沧毅;谢旻谷;刘茂林设计研发完成，并于2023-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本卡匣运送装置在说明书摘要公布了：一种卡匣运送装置，适用于运送装载晶圆的卡匣，并包含移动模块、第一夹持模块及第二夹持模块。该移动模块包括能在四轴运动的转动轴。该第一夹持模块及该第二夹持模块与该转动轴连接且分别位于该转动轴的相反两侧并与该转动轴连动。该第一夹持模块用以夹持该卡匣以使晶圆大致呈水平摆放状态移动。该第二夹持模块用以夹持且旋转该卡匣以使晶圆由呈水平摆放状态转换为呈大致垂直摆放状态移动。用户能够依据制程需求选择使用该第一夹持模块或该第二夹持模块来运送卡匣，能够减少运送装置占用无尘室的空间。

本发明授权卡匣运送装置在权利要求书中公布了：1.一种卡匣运送装置，适用于运送装载晶圆的卡匣，该卡匣具有底壁、相对该底壁的顶壁、连接该底壁与该顶壁且彼此相对的两侧壁、连接该底壁与该顶壁的后壁，及设于该顶壁的多个固定夹耳，所述固定夹耳分成两组分别布设于该顶壁靠近所述侧壁处，其特征在于：该卡匣运送装置包含： 移动模块，包括基座及设于该基座的转动轴，该基座能受驱动在第一方向水平移动，该转动轴能受驱动在垂直该第一方向的第二方向水平移动、在垂直方向升降及绕自轴转动； 第一夹持模块，用以夹持该卡匣以使晶圆大致呈水平摆放状态移动，该第一夹持模块包括固定连接该转动轴的第一连接单元，及彼此相对且可活动地连接该第一连接单元的两个夹持臂，所述夹持臂能受驱动在彼此相对靠近以夹持该卡匣的夹持位置及彼此相对远离以释放该卡匣的释放位置转换，每个夹持臂具有用以靠抵该顶壁的顶臂部，及用以靠抵对应侧壁的侧臂部，且该顶臂部设有分别对应与所述固定夹耳作用的多个第一定位部；及 第二夹持模块，用以夹持且旋转该卡匣以使晶圆由呈水平摆放状态转换为呈大致垂直摆放状态移动，该第二夹持模块包括固定连接该转动轴且位于该第一夹持模块相反侧的第二连接单元，及彼此相对且可活动地连接该第二连接单元的两个夹持件，该第二连接单元具有连接该转动轴的固定架，及与该固定架枢接的旋转机构，所述夹持件与该旋转机构连接，且能受驱动在彼此相对靠近以夹持该卡匣的夹持位置及彼此相对远离以释放该卡匣的释放位置转换，每个夹持件具有用以靠抵该顶壁的顶抵壁，及用以靠抵对应侧壁的侧抵壁，且该顶抵壁设有分别对应与所述固定夹耳作用的多个第二定位部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人辛耘企业股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾台北市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。