东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司贾锡文获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利一种晶圆平台及电子束检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480754B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411489144.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆平台及电子束检测设备是由贾锡文;何跃设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆平台及电子束检测设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆平台及电子束检测设备，该晶圆平台包括座体机构、安装件、静电吸盘、参考镜、限位件和第一固定组件，静电吸盘用于承载晶圆，安装件连接于座体机构的隔离板用于定位该晶圆平台，限位件的一端位置可调地连接于安装件，另一端连接于参考镜，以将参考镜定位于安装件上，第一固定组件将静电吸盘位置可调地连接于隔离板。在上述结构中，由于连接于安装件和参考镜的限位件位置可调地连接于安装件，第一固定组件将静电吸盘位置可调地连接于隔离板，使得参考镜和静电吸盘能够分别单独地相对于座体机构上进行位置调节，有利于提高该晶圆平台位置调节的方便性。
本发明授权一种晶圆平台及电子束检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆平台，其特征在于，包括： 座体机构，包括隔离板； 安装件，连接于所述隔离板； 参考镜，用于对晶圆平台进行定位； 限位件，所述限位件的一端位置可调地连接于所述安装件，另一端连接于所述参考镜，以将所述参考镜定位于所述安装件上； 静电吸盘，用于承载晶圆； 第一固定组件，将所述静电吸盘位置可调地连接于所述隔离板； 所述参考镜设有限位槽，所述限位件的至少部分抵于所述限位槽的内壁以将所述参考镜压紧于所述安装件；所述限位件包括弹性部和从所述弹性部上凸出的抵持部，所述弹性部位置可调地连接于所述安装件，所述抵持部抵持于所述限位槽的内壁。
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