上海芯源微企业发展有限公司张建获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利涂胶显影设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119535897B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311101957.0，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权涂胶显影设备及其控制方法是由张建;陈兴隆;程虎设计研发完成，并于2023-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂胶显影设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种涂胶显影设备及其控制方法，该涂胶显影设备包括沿水平方向依次排列的片盒模块、第一层间工艺模块、第一工艺模块、第二层间工艺模块和清洗工艺层；第一层间工艺模块包括对晶圆进行增粘处理的增粘工艺单元；第一工艺模块中由底向上依次层叠设有N层隔板，用于在第一工艺模块内分隔形成N+1个涂胶工艺层，N为正整数；至少一层隔板中设有竖直穿层单元，用于在不同的涂胶工艺层之间传送晶圆；竖直穿层单元设有固定部和活动部；固定部与隔板相对固定；活动部与固定部活动连接；当活动部与晶圆接触时，用于带动晶圆穿过至少一层隔板。该设备用于缩减传送晶圆的占用时长，以提升产能。
本发明授权涂胶显影设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括沿水平方向依次排列的片盒模块、第一层间工艺模块、第一工艺模块、第二层间工艺模块和清洗工艺层； 所述第一层间工艺模块包括对晶圆进行增粘处理的增粘工艺单元； 所述第一工艺模块中由底向上依次层叠设有N层隔板，用于在第一工艺模块内分隔形成N+1个涂胶工艺层，N为正整数； 至少一层所述隔板中设有竖直穿层单元，用于在不同的涂胶工艺层之间传送晶圆； 所述竖直穿层单元设有固定部和活动部；所述固定部与所述隔板相对固定；所述活动部与所述固定部活动连接；当所述活动部与所述晶圆接触时，用于带动所述晶圆穿过至少一层所述隔板。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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