浙江大学袁舸凡获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种用于晶圆快速加热工艺的晶圆分类方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411527453.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种用于晶圆快速加热工艺的晶圆分类方法及装置是由袁舸凡;王勇;胡戚剑;史治国设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆快速加热工艺的晶圆分类方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆快速加热工艺的晶圆分类方法及装置，获取若干种类的晶圆，加热一段时间获取温度变化数据构建数据集，温度变化数据包括辐射率、加热后的温度值以及加热过程中具有分辨力的温度差值，基于数据集训练支持向量机；对需要进行分类的晶圆加热相同的时间，将获取的温度变化数据输入训练完成后的支持向量机，得到晶圆类别，根据得到的晶圆类别实施快速加热工艺。本发明显著提升了晶圆快速加热工艺中的分类准确性和生产效率，降低了生产成本，提高了产品一致性和质量，在半导体制造领域具有广阔的应用前景。
本发明授权一种用于晶圆快速加热工艺的晶圆分类方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆快速加热工艺的晶圆分类方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 1获取若干种类的晶圆，加热一段时间获取温度变化数据构建数据集，温度变化数据包括辐射率、加热后的温度值以及加热过程中具有分辨力的温度差值，基于数据集训练支持向量机； 2对需要进行分类的晶圆加热和步骤1中相同的时间，将获取的温度变化数据输入训练完成后的支持向量机，得到晶圆类别，根据得到的晶圆类别实施快速加热工艺。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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