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龙图腾网获悉张家港中贺自动化科技有限公司申请的专利一种用于光刻投影的光学镜头及具有其的光刻投影设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119556431B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411876209.4，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种用于光刻投影的光学镜头及具有其的光刻投影设备是由刘鹏设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于光刻投影的光学镜头及具有其的光刻投影设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于光刻投影的光学镜头及具有其的光刻投影设备，镜头具有光焦度的透镜为由物方到像方的方向依次设置的第一透镜至第十透镜，第一透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜的物方光轴位置呈凸面结构，其像方光轴位置呈凹面结构；第二透镜、第九透镜为双凸镜；第六透镜、第七透镜、第八透镜、第十透镜的物方光轴位置呈凹面结构，其像方光轴位置呈凸面结构；第二透镜、第五透镜的厚度满足表达式：2.75Th2Th54.1，或者，25mmTh2－Th531mm；第九透镜、第六透镜的厚度满足表达式：2.75Th9Th64.1，或者，25mmTh9－Th631mm，以上镜头能够实现良好的光刻效果。

本发明授权一种用于光刻投影的光学镜头及具有其的光刻投影设备在权利要求书中公布了：1.一种用于光刻投影的光学镜头，其特征在于，所述镜头具有光焦度的透镜数量为十片，其为由物方到像方的方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜，其中： 所述第一透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜的物方光轴位置呈凸面结构，其像方光轴位置呈凹面结构； 所述第二透镜、第九透镜的物方光轴位置呈凸面结构，其像方光轴位置呈凸面结构； 所述第六透镜、第七透镜、第八透镜、第十透镜的物方光轴位置呈凹面结构，其像方光轴位置呈凸面结构； 所述第四透镜、第七透镜具有正光焦度，所述第一透镜、第五透镜、第六透镜、第十透镜具有负光焦度； 所述第一透镜、第二透镜组成第一镜组，其具有正光焦度；所述第三透镜构成第二镜组，其具有正光焦度；所述第四透镜、第五透镜组成第三镜组，其具有负光焦度；所述第六透镜、第七透镜组成第四镜组，其具有负光焦度；所述第八透镜构成第五镜组，其具有正光焦度；所述第九透镜、第十透镜组成第六镜组，其具有正光焦度； 所述光学镜头的焦距满足以下表达式：0.1-f2f10.4，0.2-f5f40.8，0.2-f6f70.8，0.1-f9f100.4，0.3F1L0.6，0.3F6L0.6；0.15F2L0.5，0.15F5L0.5；0.1-F3L0.7，0.1-F4L0.7；其中，f1为第一透镜的焦距，f2为第二透镜的焦距，f4为第四透镜的焦距，f5为第五透镜的焦距，f6为第六透镜的焦距，f7为第七透镜的焦距，f9为第九透镜的焦距，f10为第十透镜的焦距，F1为第一镜组的组合焦距，F2为第二镜组的焦距，F3为第三镜组的组合焦距，F4为第四镜组的组合焦距，F5为第五镜组的焦距，F6为第六镜组的组合焦距，L为物方与像方之间的距离； 所述光学镜头的透镜曲率半径满足：0.05|r12-r21|r12+r210.8，0.0|r42-r51|r42+r510.5，0.0|r71-r62||r71+r62|0.5，0.05|r101-r92||r101+r92|0.8，其中，r12为第一透镜的像方曲面的曲率半径，r21为第二透镜的物方曲面的曲率半径；r42为第四透镜的像方曲面的曲率半径，r51为第五透镜的物方曲面的曲率半径；r71为第七透镜的物方曲面的曲率半径，r62为第六透镜的像方曲面的曲率半径；r92为第九透镜的像方曲面的曲率半径，r101为第十透镜的物方曲面的曲率半径。

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