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龙图腾网获悉中山超精科技有限公司申请的专利一种超精密光学测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119573550B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411678692.5，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种超精密光学测量方法是由张嘉荣;姚洪辉;邹泽表;黄树榜;卓少木设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超精密光学测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超精密光学测量方法，包括机架、设置于机架上的激光系统、测头系统以及测量平台系统，所述测头系统包括测头、带动测头上下移动的Z向移动机构，所述测量平台系统包括测量座、带动测量座沿X方向和Y方向移动的XY移动机构，所述激光系统包括激光发射器、反射镜组、若干激光干涉仪以及转折镜，所述测头中设有能够浮动的浮动杆以及安装于浮动杆底端的测球且测量时测球与被测工件接触，圆度误差补偿算法步骤如下：S1:将标准球放在测量座上进行测量，S2:剔除误差参数，S3:构建如下运动学模型，S4:通过非球面方程求解标准球的面形误差，从而在后续的测量过程中能够对测量所得的数据通过面形误差进行补偿，从而获得精确的测量值。

本发明授权一种超精密光学测量方法在权利要求书中公布了：1.一种超精密光学测量方法，包括机架、设置于机架上的激光系统、测头系统以及测量平台系统，所述测头系统包括测头、带动测头上下移动的Z向移动机构、测量测头上下竖直移动时直线度的电容传感器一以及电容传感器二，所述测量平台系统包括测量座、带动测量座沿X方向和Y方向移动的XY移动机构、测量测量座沿X方向或Y方向移动时在Z向上的偏移误差的电容传感器三，所述激光系统包括激光发射器、反射镜组、若干激光干涉仪以及转折镜，反射镜组包括安装于所述测头上的反射镜一，浮动杆上的反射镜二，测量座上的反射镜三和反射镜四，激光发射器发出的激光经过转折镜后到达各所述激光干涉仪，反射镜一、反射镜二、反射镜三和反射镜四各自对应匹配一所述激光干涉仪，且所述激光干涉仪照射到反射镜一，反射镜二，反射镜三和反射镜四上的激光能够反射回对应的激光干涉仪，所述测头中设有能够浮动的浮动杆以及安装于浮动杆底端的测球且测量时测球与被测工件接触，与反射镜一对应的所述激光干涉仪能够获取测头沿Z向移动的位移参数z；与反射镜二对应的所述激光干涉仪能够获取浮动杆沿Z向移动的位移参数Zd；与反射镜三对应的所述激光干涉仪能够获取测量座沿X向移动的位移参数x；与反射镜四对应的所述激光干涉仪能够获取测量座沿Y向移动的位移参数y；所述电容传感器三能够获取测量座沿X方向或Y方向移动的直线度变化参数Z1，所述电容传感器一能够获取测头沿Z向移动时朝X向偏移的直线度变化参数Zx，所述电容传感器二能够获取测头沿Z向移动时朝Y向偏移的直线度变化参数Zy，测球的圆度误差补偿算法步骤如下： S1：将标准球放在测量座上进行测量，获取各个激光干涉仪的测量数据，此时剔除测头沿Z向移动时朝X向偏移的直线度变化参数Zx或者朝Y向偏移的直线度变化参数Zy，剔除测量座沿X方向或Y方向移动时在Z向上的偏移误差参数Z1，从而获得实际测量值x1,z1，公式一如下： x1＝x-Zx z1＝z-Z1+Zd S2：假设测球的半径为r，测球与标准球的球面上的理想曲线的接触点的切向角为α，由公式可得理想曲面上的接触点坐标x′,z′，公式二如下： S3：构建如下运动学模型，公式三如下： 公式三中的β是测量时标准球沿着Y轴的旋转误差，tz是标准球沿着Z方向的偏移误差，所述浮动杆上设有探头，测球位于探头的底端，θ是探头沿Z轴移动时与X轴或Y轴之间的垂直度误差，x′,z是步骤S2中的实际测量值，x2,z2是最终的测量结果， S4:求解标准球的面形误差，公式四如下： eθ,β,tz＝z2-Zx2。

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