深圳大学陈烁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利硒化锑柔性薄膜光电探测器及其制备方法与应用、血氧检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119584670B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411444031.6，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权硒化锑柔性薄膜光电探测器及其制备方法与应用、血氧检测装置是由陈烁;李弘波;付毅;梁广兴设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本硒化锑柔性薄膜光电探测器及其制备方法与应用、血氧检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开硒化锑柔性薄膜光电探测器及其制备方法与应用、血氧检测装置，涉及光电探测器技术领域。光电探测器的制备方法包括如下步骤：以Mo为靶材，在压强为1.5～2.0Pa、功率为100～120W的条件下，在柔性衬底上磁控溅射22～25min，形成第一Mo薄膜层；在压强为0.3～0.5Pa、功率为230～250W的条件下，在第一Mo薄膜层上磁控溅射15～18min，形成第二Mo薄膜层；在第二Mo薄膜层上依次形成Sb2Se3柔性薄膜层、缓冲层、窗口层，在窗口层和第二Mo薄膜层上形成顶电极，得到硒化锑柔性薄膜光电探测器，其响应度达到0.5AW，探测度达到1012Jones，能够实现血氧检测，准确度高。
本发明授权硒化锑柔性薄膜光电探测器及其制备方法与应用、血氧检测装置在权利要求书中公布了：1.一种硒化锑柔性薄膜光电探测器的制备方法，其特征在于，所述硒化锑柔性薄膜光电探测器的制备方法包括如下步骤： 提供柔性衬底； 以Mo为靶材，在压强为1.5～2.0Pa、功率为100～120W的条件下，在所述柔性衬底上磁控溅射22～25min，形成第一Mo薄膜层； 以Mo为靶材，在压强为0.3～0.5Pa、功率为230～250W的条件下，在所述第一Mo薄膜层上磁控溅射15～18min，形成第二Mo薄膜层； 在所述第二Mo薄膜层上形成Sb2Se3柔性薄膜层； 在所述Sb2Se3柔性薄膜层上形成缓冲层； 在所述缓冲层上形成窗口层； 在所述窗口层上和第二Mo薄膜层上形成顶电极，得到所述硒化锑柔性薄膜光电探测器。
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