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龙图腾网获悉中科慧远半导体技术(广东)有限公司;中科慧远视觉技术(洛阳)有限公司申请的专利晶圆微管缺陷的检测方法及装置、存储介质、计算机设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119624855B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411440959.7，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆微管缺陷的检测方法及装置、存储介质、计算机设备是由周明辉;吴立升;杨训根;张武杰设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆微管缺陷的检测方法及装置、存储介质、计算机设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆微管缺陷的检测方法及装置、存储介质、计算机设备，该方法包括：获取待进行微管缺陷检测的晶圆对应的相同采集视角下的多张表面图像；分别确定多张表面图像中各相同位置像素点对应的最大灰度值，并根据各位置像素点的最大灰度值确定采集视角下的晶圆区域的预处理图；对预处理图进行微管缺陷初步检测，得到预处理图中包括的疑似微管缺陷区域；对于每个预设光源对应的表面图像，确定表面图像上的亮区域和暗区域，并根据各预设光源对应表面图像的亮区域和暗区域，对疑似微管缺陷区域进行验证，以确定疑似微管缺陷区域是否是真实微管缺陷区域。本申请可以对晶圆进行快速高效地、非接触式的微管缺陷检测，简单易行、自动化程度高。

本发明授权晶圆微管缺陷的检测方法及装置、存储介质、计算机设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆微管缺陷的检测方法，其特征在于，包括： 获取待进行微管缺陷检测的晶圆对应的相同采集视角下的多张表面图像，其中，多张所述表面图像中包括每个预设光源单独开启后采集的表面图像，各预设光源相对于所述晶圆的设置位置基于微管缺陷的物理特性确定； 分别确定多张所述表面图像中各相同位置像素点对应的最大灰度值，并根据各位置像素点的最大灰度值确定所述采集视角下的晶圆区域的预处理图； 对所述预处理图进行微管缺陷初步检测，得到所述预处理图中包括的疑似微管缺陷区域； 对于每个预设光源对应的表面图像，确定所述表面图像上的亮区域和暗区域，并根据各预设光源对应表面图像的亮区域和暗区域，对每个所述疑似微管缺陷区域进行验证，以确定所述疑似微管缺陷区域是否是真实微管缺陷区域； 所述根据各预设光源对应表面图像的亮区域和暗区域，对每个所述疑似微管缺陷区域进行验证，包括： 对于所述预处理图中包括的每个疑似微管缺陷区域，从各预设光源中确定目标光源，并将所述目标光源对应的表面图像与所述预处理图进行配准处理，将配准后的表面图像的亮区域与所述疑似微管缺陷区域之间求交集，得到第一交集区域，以及，将配准后的表面图像的暗区域与所述疑似微管缺陷区域之间求交集，得到第二交集区域； 计算所述第一交集区域与所述疑似微管缺陷区域之间的比值，得到第一比值，并当所述第一比值大于预设阈值时，将所述目标光源对应的亮次数增加一次计数，以及，计算所述第二交集区域与所述疑似微管缺陷区域之间的比值，得到第二比值，并当所述第二比值大于所述预设阈值时，将所述目标光源对应的暗次数增加一次计数； 将所述目标光源从所述各预设光源中剔除，并返回至所述从各预设光源中确定目标光源的步骤，直至所述各预设光源均被剔除后结束，将各预设光源对应的亮次数计数结果求和，以及将暗次数计数结果求和，当亮次数求和结果大于0，且暗次数求和结果大于1时，确定所述疑似微管缺陷区域是真实微管缺陷区域。

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