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龙图腾网获悉中建材浚鑫科技有限公司申请的专利一种用于硅片镀膜后处理的退火装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119677211B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411671489.5，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种用于硅片镀膜后处理的退火装置是由胡燕;贾苏南;吴昊;侯啸;曹思远设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于硅片镀膜后处理的退火装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于硅片镀膜后处理的退火装置，包括：退火炉，具有入料口、出料口、进气组件和五个腔体，五个腔体为升温过渡腔、升温腔、保温腔、降温腔和降温过渡腔，升温腔的水平面投影为U形；传输机构，包括转移组件和两个传输组件，各传输组件均包括驱动单元和传输辊；通断组件，设置于相邻两个腔体之间且具有拦截形态和通行形态。该用于硅片镀膜后处理的退火装置通过U形的保温腔减小了保温炉的长度尺寸，通过通断组件控制相邻两个腔体的连通和断开，减少了热能的扩散，通过升温过渡腔和降温过渡腔实现过渡，提高热能利用率的同时减缓物料温度变化速率，改善退火质量。

本发明授权一种用于硅片镀膜后处理的退火装置在权利要求书中公布了：1.一种用于硅片镀膜后处理的退火装置，其特征在于，包括： 退火炉1，所述退火炉1为水平的长条状，所述退火炉1具有入料口101、出料口102、进气组件103和五个腔体，五个所述腔体为依次分布的升温过渡腔104、升温腔105、保温腔106、降温腔107和降温过渡腔108，所述升温腔105与所述进气组件103连接且水平面投影为U形，其余均沿平行于所述退火炉1的长度方向延伸，所述入料口101和所述出料口102分别与所述升温过渡腔104和所述降温过渡腔108连通； 传输机构，所述传输机构包括位于所述保温腔106内的转移组件和正对且传输方向相反的两个传输组件2，所述转移组件设置于其中一个传输组件2的输出端和另一个传输组件2的输入端之间，以将物料依次通过所述入料口101、五个所述腔体和所述出料口102，各传输组件2均包括驱动单元21和绕自身轴心线转动于所述退火炉1内的传输辊22，所述传输辊22沿平行于所述退火炉1长度方向并排分布且轴向平行于所述退火炉1的宽度方向，各传输组件2的传输辊22均包括间隔分布且分布间距小于物料长度的主动辊221，所述驱动单元21驱动所述主动辊221旋转； 加热组件4，所述加热组件4设置于所述升温腔105、所述保温腔106和所述降温腔107内； 通断组件5，所述通断组件5设置于相邻两个腔体之间且具有拦截形态和通行形态，拦截形态的通断组件5用于阻隔相邻两个腔体，通行形态的通断组件5用于供物料通过相邻两个腔体之间，各通断组件5的进料侧紧邻设置有到位信号传感器51。

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