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中国电子科技集团公司第四十四研究所李立获国家专利权

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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十四研究所申请的专利一种可抑制电荷回流噪声的CCD输出节点结构及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119730427B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411926947.5,技术领域涉及:H10F39/15;该发明授权一种可抑制电荷回流噪声的CCD输出节点结构及其制作方法是由李立;熊平设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种可抑制电荷回流噪声的CCD输出节点结构及其制作方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种可抑制电荷回流噪声的CCD输出节点结构及其制作方法,所述结构包括:衬底;信号转移通道,其设置于所述衬底一侧;多个电荷转移栅电极,其间隔设置于所述信号转移通道背离所述衬底的一侧;输出直流栅电极,其并排设置于多个所述多个电荷转移栅电极的侧边;第一注入区和第二注入区,其分别设置于所述输出直流栅电极和所述衬底之间;输出节点,其设置于所述所述第一注入区和所述第二注入区远离所述信号转移通道的一侧;复位晶体管,其设置于所述输出节点远离所述第一注入区和所述第二注入区的一侧;栅极介质层,其设置于所述信号转移通道背离所述衬底的一侧;本申请形成抑制电荷回流的势垒结构,可有效降低回流噪声。

本发明授权一种可抑制电荷回流噪声的CCD输出节点结构及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种可抑制电荷回流噪声的CCD输出节点结构,其特征在于,所述结构包括: 衬底; 信号转移通道,其设置于所述衬底一侧; 多个电荷转移栅电极,其间隔设置于所述信号转移通道背离所述衬底的一侧; 输出直流栅电极,其并排设置于多个所述多个电荷转移栅电极的侧边; 第一注入区和第二注入区,其分别设置于所述输出直流栅电极和所述衬底之间,使得所述信号转移通道、第一注入区和第二注入区的注入浓度形成梯度; 输出节点,其设置于所述所述第一注入区和所述第二注入区远离所述信号转移通道的一侧; 复位晶体管,其设置于所述输出节点远离所述第一注入区和所述第二注入区的一侧,以在复位时将收集在所述输出节点中的电荷抽出; 栅极介质层,其设置于所述信号转移通道背离所述衬底的一侧,以隔离所述电荷转移栅电极、所述输出直流栅电极以及所述复位晶体管的晶体管栅电极与对应区域的沟道; 所述复位晶体管包括:晶体管栅电极,其设置于所述输出节点背离所述第一注入区和所述第二注入区的一侧;晶体管沟道区,其设置于所述晶体管栅电极下方,并与所述输出节点接触,所述晶体管沟道区俯视面上的直径沿远离所述输出节点的方向逐渐增大;晶体管漏极区,其与所述晶体管沟道区背离所述输出节点的一侧连接; 所述第一注入区位于所述第二注入区与所述信号转移通道之间,且所述第二注入区的注入浓度高于所述第一注入区的注入浓度,且所述第一注入区的注入浓度高于所述信号转移通道的掺杂浓度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第四十四研究所,其通讯地址为:400060 重庆市南岸区花园路14号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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