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龙图腾网获悉浙江工业大学申请的专利一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119748311B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411732314.0，技术领域涉及：B24B37/013；该发明授权一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统是由赵文宏;沈家明;林俊杰;潘楚予;徐明源;李斌杰;娄婕;颜晨欢设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明属于机械加工领域，公开了一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统，包括：步骤1，构建化学机械抛光的数学模型；步骤2，搭建测试平台进行力和力矩信号采集；步骤3，进行边缘计算平台的电路设计；步骤4，进行参数控制实验；步骤5，进行上位机系统的开发；步骤6，最终得到基于力和力矩信号的高硬脆材料加工状态预测模型的训练集；步骤7，对加工状态预测模型进行训练；步骤8，使用训练好的加工状态预测模型进行终点检测。本发明利用抛光扭矩对抛光状态进行在线实时检测，并进行状态反馈的方法，可提升抛光加工效率，提高抛光质量及抛光成品率，降低成本。

本发明授权一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法，其特征在于，包括： 步骤1，构建化学机械抛光的数学模型； 步骤2，搭建测试平台进行力和力矩信号采集； 步骤3，进行边缘计算平台的电路设计； 步骤4，进行参数控制实验，控制抛光液浓度、抛光液温度、抛光转速、抛光时间，调整抛光压力以及抛光扭矩进行实验，得到对应的参数数据，同时隔一定时间取下工件对其MRR和Ra进行检测；同时建立状态空间观测系统获取当前抛光的摩擦系数； 步骤5，进行上位机系统的开发，将前面获取的实验数据以及状态观测系统得到的摩擦系数进行显示，同时设计用户操作界面，提供对应的用户操作接口； 步骤6，对前面获取的实验数据建立力和力矩信号与对高硬脆材料加工状态之间的关系，对采集的力和力矩信号进行数据归一化，对样本数据进行标准化，并将所有数据转换为[0,1]之间的值，采用的标准化方法为最大最小归一化方法： 其中，x表示数据集中的某一数据元素，xk表示该数据元素归一化后的值，xmax表示该数据集中该数据集合的最大值，xmin该数据集中该数据集合的最小值； 最终得到基于力和力矩信号的高硬脆材料加工状态预测模型的训练集； 步骤7，利用已归一化处理的数据集对加工状态预测模型进行训练； 步骤8，使用训练好的加工状态预测模型进行终点检测，其中加工状态预测模型的终点检测标准的参考依据为材料去除率MRR和表面粗糙度Ra，当Ra小于标准阈值且MRR在设定阈值范围内时达到抛光终点。

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