东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司罗强获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利一种电子束流的调节方法、装置、设备、介质及产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119833376B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411958009.3，技术领域涉及：H01J37/26；该发明授权一种电子束流的调节方法、装置、设备、介质及产品是由罗强;任耀;周浩浩设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束流的调节方法、装置、设备、介质及产品在说明书摘要公布了：本申请公开了一种电子束流的调节方法、装置、设备、介质及产品，应用于集成电路技术领域。该方法先获取扫描电镜中聚光镜的原始激励电流值；然后基于激励电流值与电子束流值之间的第一对应关系，确定出原始电子束流值。进而基于原始电子束流值对扫描电镜进行调节，以使扫描电镜的电子束流值为目标电子束流值。本实现方式中，在获取电子束流值时不再需要每次都通过法拉第杯进行测量，而是通过聚光镜的激励电流值与电子束流值的对应关系来直接估算，由于聚光镜的激励电流值获取方式简单，进而节省了对利用法拉第杯进行测量的操作时间，提高了获取电子束流值的效率。
本发明授权一种电子束流的调节方法、装置、设备、介质及产品在权利要求书中公布了：1.一种电子束流的调节方法，其特征在于，包括： 获取扫描电镜中聚光镜的原始激励电流值； 基于所述原始激励电流值以及第一对应关系，确定所述扫描电镜的原始电子束流值；所述第一对应关系为所述聚光镜的激励电流值与所述扫描电镜的电子束流值之间的对应关系； 基于所述原始电子束流值对所述扫描电镜进行调节，以使所述扫描电镜的电子束流值为目标电子束流值。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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