西安交通大学潘毅获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种超高真空多源共沉积装置及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119876861B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411374126.5，技术领域涉及：C23C14/26；该发明授权一种超高真空多源共沉积装置及其工作方法是由潘毅;刘逸凡;张又麒;张一诺;赵延鲁设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高真空多源共沉积装置及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超高真空多源共沉积装置及其工作方法，包括超高真空磁力杆、束源炉、样品托、样品架和接电座；样品架和接电座由上而下依次套在超高真空磁力杆上，样品架上设置有多个呈环形排布的样品托，每个样品托上设置一个束源炉，多个束源炉顶部朝样品架中心倾斜，朝向超高真空磁力杆顶端。在不增加真空腔体体积的同时，将多个蒸发源进行集成，提高了设备集成率和沉积效率。
本发明授权一种超高真空多源共沉积装置及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种超高真空多源共沉积装置，其特征在于，包括超高真空磁力杆2、束源炉3、样品托4、样品架5和接电座6； 样品架5和接电座6由上而下依次套在超高真空磁力杆2上，样品架5上设置有多个呈环形排布的样品托4，每个样品托4上设置一个束源炉3，多个束源炉3顶部朝样品架5中心倾斜，朝向超高真空磁力杆2顶端。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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