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龙图腾网获悉辛耘企业股份有限公司申请的专利可旋转升降的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119890071B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311392188.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权可旋转升降的基板处理装置是由谢旻谷设计研发完成，并于2023-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本可旋转升降的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种可旋转升降的基板处理装置，包括驱动器、传动组件、第二传动轮、升降机构、升降切换机构、从动杆及旋转切换机构，传动组件与第二传动轮分别设于驱动器的两端，升降切换机构能切换位置以连接或分离传动组件，旋转切换机构能切换位置以连接或分离第二传动轮，驱动器经由升降切换机构带动传动组件及升降机构而控制从动杆升降，驱动器以第二传动轮经由旋转切换机构控制从动杆旋转；藉此，通过升降切换机构与旋转切换机构各别切换位置，使得单一驱动器能够让从动杆仅旋转、仅升降或同时旋转及升降，并单独进行切换而不会相互干扰。

本发明授权可旋转升降的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种可旋转升降的基板处理装置，其特征在于，包括： 一驱动器，具有一转轴，所述转轴具有凸出所述驱动器两端的一第一端部及一第二端部； 一传动组件，包括一阻隔环及一第一传动轮，所述阻隔环固定于所述驱动器且供所述第一端部可转动地容置，所述第一传动轮可转动地套设在所述阻隔环上； 一第二传动轮，固定于所述第二端部且环绕所述转轴； 一升降机构，设于所述驱动器的一侧，所述升降机构包括一从动轮及一连动组件，所述从动轮动力连接于所述第一传动轮，所述连动组件的一端固接于所述从动轮； 一升降切换机构，连接所述第一端部且包括一第一活动部，所述第一活动部能够在一升降分离位置与一升降连接位置之间切换； 一从动杆，可转动地穿接所述转轴，所述从动杆的一端凸出所述升降切换机构，所述从动杆的另一端可转动地连接于所述连动组件的另一端；及 一旋转切换机构，包括一第二活动部，所述第二活动部套设于所述从动杆并能够在一旋转分离位置与一旋转连接位置之间切换； 其中当所述第一活动部位于所述升降分离位置且所述转轴转动时，所述第一活动部与所述第一传动轮之间具有间距而使所述第一活动部空转； 其中当所述第一活动部位于所述升降连接位置且所述转轴转动时，所述第一活动部连接所述第一传动轮，所述第一端部经由所述第一活动部带动所述第一传动轮转动，从而让所述从动轮带动所述连动组件作动以使所述从动杆相对于所述驱动器升降； 其中当所述第二活动部位于所述旋转分离位置且所述转轴转动时，所述第二活动部与所述第二传动轮之间具有间距而使所述第二传动轮空转； 其中当所述第二活动部位于所述旋转连接位置且所述转轴转动时，所述第二活动部连接所述第二传动轮，所述第二端部经由所述第二传动轮带动所述第二活动部转动以使所述从动杆相对于所述驱动器旋转。

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