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龙图腾网获悉北京理工大学;拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利射频功率的调节系统及其调节方法和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119905381B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411991182.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权射频功率的调节系统及其调节方法和半导体工艺设备是由吕欣;王业亮设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本射频功率的调节系统及其调节方法和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种射频功率的调节系统及其调节方法和半导体工艺设备。该调节系统包括：干扰监测模块，获取反应腔内的射频功率的时域信号，并基于时域信号的频域特性获取干扰数据；自适应控制模块，以干扰数据作为状态输入变量，通过学习最优策略更新动作输出变量，并基于干扰抑制和能耗的目标函数，确定出最优动作输出变量，其中，动作输出变量包括频率调节量、幅值调节量和脉宽调节量；以及反馈调节模块，基于最优动作输出变量，动态调节反应腔内的多个工艺参数以使多个工艺参数到达目标工艺参数范围。本发明能够自适应地调整反应腔内的射频功率密度，实现干扰抑制与能耗的最佳动态平衡，从而提升射频干扰抑制效果、工艺稳定性及设备效率。

本发明授权射频功率的调节系统及其调节方法和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种射频功率的调节系统，其特征在于，包括： 干扰监测模块，获取反应腔内的射频功率的时域信号，并基于所述时域信号的频域特性，获取干扰数据，其中，所述时域信号包括主频及其谐波频率； 自适应控制模块，以所述干扰数据作为状态输入变量，通过学习最优策略，更新动作输出变量，并基于干扰抑制和能耗的目标函数，以确定出最优动作输出变量，其中，所述动作输出变量包括所述射频功率的频率调节量、幅值调节量和脉宽调节量； 所述以所述干扰数据作为状态输入变量，通过学习最优策略，更新动作输出变量的步骤包括： 获取所述主频和各所述谐波频率的干扰功率密度值之和，作为第一奖励因子；获取所述反应腔内的输出稳定性，作为第二奖励因子，所述输出稳定性包括射频参数的输出波动度，或工艺指标的波动度；获取所述射频功率的能耗，作为第三奖励因子； 基于所述第一奖励因子、所述第二奖励因子，以及所述第三奖励因子，构建奖励函数，其中，所述奖励函数的公式如下： 其中，表示所述射频功率的能耗，表示对整体奖励的影响程度，表 示所述干扰功率密度值之和，表示所述输出稳定性，表示输出稳定性的贡献程度，且所 述第一奖励因子越小，所述奖励函数的值越大，所述第二奖励因子越大，所述奖励函数的值 越大，所述第三奖励因子越小，所述奖励函数的值越大；以及 反馈调节模块，基于所述最优动作输出变量，动态调节所述反应腔内的多个工艺参数，以使所述多个工艺参数到达目标工艺参数范围。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京理工大学;拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：100081 北京市海淀区中关村南大街5号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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